Schichten für Optiken vom NIR bis ins VUV

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Fortschrittliche in-situ Prozessüberwachung bei Plasma-Ionen-gestützen Beschichtungsprozessen.
Fortschrittliche in-situ Prozessüberwachung bei Plasma-Ionen-gestützen Beschichtungsprozessen.