Transparente und leitfähige Beschichtungen
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
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- Plasma-Ionenquelle und Elektronenstrahlkanone während eines Plasma-IAD-Beschichtungsprozesses.
Transparenz im sichtbaren Spektralbereich sowie eine hohe elektrische Leitfähigkeit sind wesentliche Eigenschaften für eine Vielzahl von optischen Bauteilen aus den Bereichen Unterhaltungselektronik, Sensorik oder Sicherheits- und Informationstechnik.
Kompetenzen
- Magnetronsputtern
- Plasma-Ionen gestützte Verdampfung
- Laserbearbeitung
- Interferenz- und Elektronenstrahllithographie
Unser Angebot
- Erstellung extrem dünner Metallschichten oder transparent leitfähiger Oxide (TCOs)
- Strukturierung dünner Schichten und Schichtsysteme



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