Analyse von Nano- und Mikrostrukturen an Oberflächen und Schichten
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Zur Aufklärung der funktionsrelevanten Eigenschaften von Oberflächen und Beschichtungen werden verschiedene Messverfahren eingesetzt und kombiniert.
Dies umfasst insbesondere:
- Rasterkraftmikroskopie (AFM), Weißlichtinterferometrie (WLI), Laserscanning-Mikroskopie (LSM), Nomarski-Mikroskopie, Fokusvariations-Verfahren
- Nanoindentation und Nanoscratchtests
- Bewertung von Oberflächen und Schichten
- Quantitative Analyse:
- Rauheitsparameter, Strukturparameter
- Power-Spectral-Density Funktion (PSD)
- Defektgrößen, etc.
- Entwicklungsbegleitende Charakterisierung
- Verbindung zwischen strukturellen und funktionalen Eigenschaften:
- Benetzung (z.B. Superhydrophobie)
- Optik (z.B. Streulicht)
- Abrasion, Degradation
- Verknüpfung von Charakterisierung und Design
- Entwicklung spezieller Datenanalyseverfahren


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