Die im Fraunhofer IOF vorhandene Ultrapräzisions-Bearbeitungstechnik ist mit folgenden Systemen ausgerüstet:

• hydrostatisches Führungssystem
• luftgelagerte Spindeln
• Diamantwerkzeuge

Die Ultrapräzisions-Bearbeitungstechnik wird für die Herstellung von:

• Metalloptik
• Kunststoffoptik
• Abformwerkzeugen für Präzisionsreplika

verwendet.

Oberflächenrauhigkeiten im Nanometer-Bereich für Anwendungen der Nanotechnologie sind herstellbar.