Ultrapräzisionsbearbeitung

Das Fraunhofer IOF stellt mittels Ultrapräzisionsbearbeitung Metallspiegel, Gitter und kunststoffbasierte Linsen und Linsenarrays her. Dabei werden Diamantwerkzeuge zur Bearbeitung von Metall-, Kristall- und Kunststoffoptiken für die Anwendung im Wellenlängenbereich von 14 µm bis 13,5 nm eingesetzt.

 

Bearbeitbare Materialien

  • Metalle: Al, AlSi, Ni, NiP, Cu, Au, Messing;
  • Kristalle: c-Si, a-Si, Germanium, CaF;
  • Kunststoffe: PMMA, PC, Zeonex, etc.

Zur Korrektur der diamantbearbeiteten Oberflächen wird Magnetorheologisches Polieren (MRF) benutzt. Dadurch können komplexe Oberflächen (Asphären, optische Freiformflächen, Arrays) mit ultrapräziser Genauigkeit hergestellt werden. 

 

Maschinenausstattung

  • 3 Drehmaschinen STS (Slow tool servo) bis 700 mm
  • 1 Drehmaschine FTS (fast tool servo) + STS bis 700 mm
  • 1 Fünf-Achs-Freiform-Fräsmaschine
  • Freiform-Poliermaschine MRF bis 1mx1m (nur wenige Exemplare auf der Welt: nur 1x in Europa, 2x in USA)
  • Geplante Beschaffung in 2013 (Stichwort 1-Meter-Diamantbearbeitungsmaschine)
  • Messtechnik (z. B. UA3P, Multisensor Drei-Koordinaten-Messmaschine, Interferometer bis 300 mm)

 

Beispielhafte Anwendungen

  • Einzelspiegel und Spiegelsysteme für Anwendungen im UV, VIS und NIR Spektralbereich z. B. für Teleskope und Spektrometer – sowohl für den Einsatz im Weltraum als auch für terrestrische Anwendungen in der Astronomie
  • Einzelspiegel und Spiegelsysteme für bildgebende Optiken in der Lasertechnik
  • Einzelspiegel und Spiegelsysteme für die Lithographie

 

Kompetenzen

  • Diamantdrehen
  • Servo-gestütztes Drehen (STS und FTS)
  • Diamantfräsen
  • Ultrapräzises Hobeln
  • Ultrapräzises Schleifen

 

Unser Angebot

  • off-axis Asphären von max. 450 mm x 300 mm 
  • on-axis Spiegel bis zu 650 mm Durchmesser mit beugungsbegrenzter Qualität
  • Metallspiegel
  • Gitter
  • Freiformelemente
  • Teleskope & Spektrometer