Jahresberichte

2011

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2011

Jahresbericht des Fraunhofer IOF [ PDF 2.48 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Optisches Breitbandmonitoring im industriellen Beschichtungsumfeld
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Optisches Breitbandmonitoring im industriellen Beschichtungsumfeld [ PDF 1.94 MB ]
Reflexionsoptiken für die nächste Lithographiegeneration
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Reflexionsoptiken für die nächste Lithographiegeneration [ PDF 1.08 MB ]
Spektrale Strahlkombination von vier Hochleistungsfaserverstärkern
Kontakt: Dr. Thomas Schreiber
- Spektrale Strahlkombination von vier Hochleistungsfaserverstärkern [ PDF 1.85 MB ]
Silikatisches und direktes Bonden: Hochwertige Fügetechnologien für Glas
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Silikatisches und direktes Bonden: Hochwertige Fügetechnologien für Glas [ PDF 2.22 MB ]
Design grundmodiger aktiv dotierter Großkernfasern
Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert
- Design grundmodiger aktiv dotierter Großkernfasern [ PDF 0.77 MB ]
Miniaturisierte Sensoren mit bidirektionalen Bauelementen
Kontakt: Constanze Grossmann
- Miniaturisierte Sensoren mit bidirektionalen Bauelementen [ PDF 1.63 MB ]
3D-Schneidkantenvermessung von Präzisionsschneidwerkzeugen
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- 3D-Schneidkantenvermessung von Präzisionsschneidwerkzeugen [ PDF 1.1 MB ]
Anwendungsorientierte Benetzungsanalyse hydrophober Oberflächen
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Anwendungsorientierte Benetzungsanalyse hydrophober Oberflächen [ PDF 0.88 MB ]
Geometrieanalyse mechanischer Systeme mittels Computertomographie
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Geometrieanalyse mechanischer Systeme mittels Computertomographie [ PDF 1.86 MB ]
Effizientere OLEDs durch orientierte Triplett Emitter
Kontakt: Dr. Norbert Danz
- Effizientere OLEDs durch orientierte Triplett Emitter [ PDF 0.4 MB ]
Deformierbare Multilayer-Spiegel mit parallelen Fertigungstechnologien
Kontakt: Claudia Bruchmann
- Deformierbare Multilayer-Spiegel mit parallelen Fertigungstechnologien [ PDF 1.67 MB ]
Beugungsbegrenztes IR-Spiegelteleskop mit smartem Montageansatz
Kontakt: Dr. Ramona Eberhardt, Sebastian Scheiding
- Beugungsbegrenztes IR-Spiegelteleskop mit smartem Montageansatz [ PDF 1.64 MB ]
Ultrapräzise Spiegel mit einer amorphen Siliziumschicht
Kontakt: Dr. Stefan Risse
- Ultrapräzise Spiegel mit einer amorphen Siliziumschicht [ PDF 2.09 MB ]
Aluminiumbasierte Reflektoren für das DUV und VUV
Kontakt: Dr. Steffen Wilbrandt
- Aluminiumbasierte Reflektoren für das DUV und VUV [ PDF 0.75 MB ]
LED-Array-Projektor »LICHTKACHEL«
Kontakt: Marcel Sieler
- LED-Array-Projektor »LICHTKACHEL« [ PDF 2.59 MB ]
Facetvision – Insekteninspirierte abbildende optische Systeme
Kontakt: Dr. Frank Wippermann
- Facetvision – Insekteninspirierte abbildende optische Systeme [ PDF 0.94 MB ]
Elektrostatische Chucks für die Lithographie mit 450 mm Wafern
Kontakt: Dr. Thomas Peschel
- Elektrostatische Chucks für die Lithographie mit 450 mm Wafern [ PDF 0.78 MB ]
Lichtausbreitung in photonischen Kristallen aus Lithiumniobat
Kontakt: Reinhard Geiss
- Lichtausbreitung in photonischen Kristallen aus Lithiumniobat [ PDF 0.59 MB ]
Hocheffiziente EUV- und Röntgengitter zur Plasma-Analyse
Kontakt: Dr. Christoph Braig
- Hocheffiziente EUV- und Röntgengitter zur Plasma-Analyse [ PDF 0.73 MB ]
Strukturierbare reflexionsgeminderte Chromschichten
Kontakt: Dr. Mark Schürmann
- Strukturierbare reflexionsgeminderte ChromschichtenROSS-TT [ PDF 0.88 MB ]
Kunststoffbeschichtung unter industriellen Bedingungen
Kontakt: Dr. Peter Munzert
- Kunststoffbeschichtung unter industriellen Bedingungen [ PDF 1.07 MB ]
Arrayhafte Masterstrukturen für UV- Replikation mittels Step & Repeat-Prozess
Kontakt: Dr. Frank Wippermann
- Arrayhafte Masterstrukturen für UV- Replikation mittels Step & Repeat-Prozess [ PDF 1.76 MB ]
Integrierte Mikro-Interferometer Arrays für parallele MEMS-Inspektion
Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner
- Integrierte Mikro-Interferometer Arrays für parallele MEMS-Inspektion [ PDF 0.96 MB ]
Universelle Streulichtmodellierung glatter bis strukturierter Oberflächen
Kontakt: Dr. Sven Schröder
- Universelle Streulichtmodellierung glatter bis strukturierter Oberflächen [ PDF 1.28 MB ]
Erzeugung hoher Gasharmonischer bei hohen Pulsfolgefrequenzen
Kontakt: Pof. Dr. Jens Limpert
- Erzeugung hoher Gasharmonischer bei hohen Pulsfolgefrequenzen [ PDF 0.64 MB ]
Komplexe Phasenelemente auf Basis fs laserinduzierter Nanogitter
Kontakt: Dr. Matthias Heinrich
- Komplexe Phasenelemente auf Basis fs laserinduzierter Nanogitter [ PDF 1.46 MB ]
3-Dimensionales chirales Metamaterial mit sehr hoher optischer Aktivität
Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch
- 3-Dimensionales chirales Metamaterial mit sehr hoher optischer Aktivität [ PDF 1.16 MB ]

Publikationsliste

2010

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2010

Jahresbericht [ PDF 4.7 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Design von Komponenten für Hochleistungslaser hoher Strahlqualität
Kontakt: Dr. Thomas Peschel
- Design von Komponenten für Hochleistungslaser hoher Strahlqualität [ PDF 0.51 MB ]
High Speed-High Resolution-Sensor für die Leiterplatteninspektion
Kontakt: Dr. Christian Bräuer-Burchardt, Dr. Peter Kühmstedt
- High Speed-High Resolution-Sensor für die Leiterplatteninspektion [ PDF 0.92 MB ]
Organische UV-Schutzschichten für die Polycarbonatverglasung
Kontakt: Christian Präfke
- Organische UV-Schutzschichten für die Polycarbonatverglasung [ PDF 0.7 MB ]
Hochrepetierende Few-Cycle-Pulserzeugung für Hochintensitätsphysik
Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert
- Hochrepetierende Few-Cycle-Pulserzeugung für Hochintensitätsphysik [ PDF 0.25 MB ]
3D-Photonik für astronomische Interferometrie
Kontakt: Dr. Stefano Minardi, Prof. Dr. Thomas Pertsch
- 3D-Photonik für astronomische Interferometrie [ PDF 0.37 MB ]
Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik
Kontakt: Dr. Mark Schürmann
- Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik [ PDF 0.19 MB ]
THz-Tomographie für die räumliche Identifikation chemischer Substanzen
Kontakt: Dr. Gunther Notni, M. Eng. Anika Brahm
- THz-Tomographie für die räumliche Identifikation chemischer Substanzen [ PDF 0.69 MB ]
Fluorreaktive Präparation von Fluorid- und Oxidfluoridschichten für das UV
Kontakt: Dipl.-Phys. Dieter Gäbler
- Fluorreaktive Präparation von Fluorid- und Oxidfluoridschichten für das UV [ PDF 0.51 MB ]
Lebensdauer von EUV-Optiken
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Lebensdauer von EUV-Optiken [ PDF 0.53 MB ]
Ultra-dünne Kamera mit VGA-Auflösung
Kontakt: Dr. Frank Wippermann
- Ultra-dünne Kamera mit VGA-Auflösung [ PDF 0.61 MB ]
Freiformprisma für head-mounted Display
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Freiformprisma für head-mounted Display [ PDF 0.98 MB ]
Richtungsselektive Streuschirme
Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley
- Richtungsselektive Streuschirme [ PDF 0.6 MB ]
Chip in the tip - ultrakompakte Endoskopkamera mit VGA-Auflösung
Kontakt: Dr. Erik Beckert
- Chip in the tip - ultrakompakte Endoskopkamera mit VGA-Auflösung [ PDF 0.54 MB ]
Flachbauendes Mikroskop
Kontakt: Dr. Frank Wippermann
- Flachbauendes Mikroskop [ PDF 0.98 MB ]
Multilagige mikrooptische Module
Kontakt: Dr. Peter Dannberg
- Multilagige mikrooptische Module [ PDF 1.12 MB ]
Lokales Schweißen mit ultrakurzen Laserpulsen
Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte
- Lokales Schweißen mit ultrakurzen Laserpulsen [ PDF 0.37 MB ]
Unterdrückung stimulierter Ramanstreuung in DC-Faserverstärkern
Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert
- Unterdrückung stimulierter Ramanstreuung in DC-Faserverstärkern [ PDF 0.47 MB ]
Direktes Bonden: Eine »neue« Bond-Technologie für Glas
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Direktes Bonden: Eine »neue« Bond-Technologie für Glas [ PDF 0.33 MB ]
Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen
Kontakt: Dipl.-Ing. Sebastian Scheiding, Dr. Ramona Eberhardt
- Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen [ PDF 0.7 MB ]
TABLE-TOP-Messsystem für Streulicht, R und T - ALBATROSS-TT
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- TABLE-TOP-Messsystem für Streulicht, R und T - ALBATROSS-TT [ PDF 0.27 MB ]
Entspiegelung von Saphirglas
Kontakt: Christoph Gödeker
- Entspiegelung von Saphirglas [ PDF 0.28 MB ]
Neue Gitter für Laseranwendungen
Kontakt: Dr. Frank Fuchs, Dr. habil. Uwe Detlef Zeitner
- Neue Gitter für Laseranwendungen [ PDF 0.56 MB ]
Laserstrukturierung poly- und einkristalliner Diamantwerkzeuge
Kontakt: Dipl.-Phys. Andreas Joswig, Dr. Ramona Eberhardt
- Laserstrukturierung poly- und einkristalliner Diamantwerkzeuge [ PDF 0.66 MB ]
Praxisnahe Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessverfahren
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Praxisnahe Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessverfahren [ PDF 1.63 MB ]
Plasma und optische Technologien (Pluto)
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Plasma und optische Technologien (Pluto) [ PDF 0.46 MB ]
Plasmonisch resonante Nanoringe
Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley
- Plasmonisch resonante Nanoringe [ PDF 1.28 MB ]

Publikationsliste

2009

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2009

Jahresbericht [ PDF,, 7.46 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Ultrapräzise Metallspiegel für ein neuartiges rotierendes Teleskop
Kontakt: Dr.-Ing. Stefan Risse
- Ultrapräzise Metallspiegel für ein neuartiges rotierendes Teleskop [ PDF 2.47 MB ]
LEDs in der Mess- und Prüftechnik
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- LEDs in der Mess- und Prüftechnik [ PDF 1.93 MB ]
Rauheitsstrukturen für ressourcensparende Benetzungseigenschaften
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Rauheitsstrukturen für ressourcensparende Benetzungseigenschaften [ PDF, 2.15 MB ]
Nanostrukturierte SIS-Solarzellen
Kontakt: Kevin Füchsel
- Nanostrukturierte SIS-Solarzellen [ PDF 0.86 MB ]
Ultrakurzpuls-Laser mit 830 W Durchschnittsleistung
Kontakt Prof. Jens Limpert
- Ultrakurzpuls-Laser mit 830 W Durchschnittsleistung [ PDF 0.96 MB ]
Ultrakompaktes Abbildungssystem erhöhter Lichtstärke
Kontakt: Dipl.-Phys. Andreas Brückner
- Ultrakompaktes Abbildungssystem erhöhter Lichtstärke [ PDF 1.95 MB ]
Ultraflache Array-Projektionsoptik
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Ultraflache Array-Projektionsoptik [ PDF 2.15 MB ]
Polymerfolien mit Antireflexeigenschaften durch Plasmaätzen – POLAR
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Polymerfolien mit Antireflexeigenschaften durch Plasmaätzen – POLAR [ PDF 2.44 MB ]
Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie
Kontakt: Dr. Torsten Feigl
- Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie [ PDF 4.69 MB ]
Parallele SPR als Nachweistechnologie für die Biosensorik
Kontakt: Dr. Norbert Danz
- Parallele SPR als Nachweistechnologie für die Biosensorik [ PDF 2.14 MB ]
Optischer 3D-Handscanner für patientenindividuelle Atemmasken
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Optischer 3D-Handscanner für patientenindividuelle Atemmasken [ PDF 2.32 MB ]
Löten vakuumdichter Fenster für medizintechnische Produkte
Kontakt: Thomas Burkhardt
- Löten vakuumdichter Fenster für medizintechnische Produkte [ PDF 2.25 MB ]
Breitbandige dielektrische Spiegel für medizinische Anwendungen
Dipl.-Ing. (FH) Wieland Stöckl
- Breitbandige dielektrische Spiegel für medizinische Anwendungen [ PDF 0.88 MB ]
Spektrometergitter für die Gaia-Weltraummission
Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner
- Spektrometergitter für die Gaia-Weltraummission [ PDF 1.45 MB ]
Mehrfach-Ablenkarrays für die "Multi Shaped Beam Litography"
Kontakt: Dipl.-Ing. Matthias Mohaupt
- Mehrfach-Ablenkarrays für die "Multi Shaped Beam Litography" [ PDF 1.56 MB ]
Ultrapräzise asphärische Spiegel mit definierten Referenzstrukturen
Kontakt: Sebastian Scheiding
- Ultrapräzise asphärische Spiegel mit definierten Referenzstrukturen [ PDF 1.76 MB ]
Hochleistungskomponenten für Faserlaser
Kontakt: Dr. Thomas Schreiber
- Hochleistungskomponenten für Faserlaser [ PDF 2.09 MB ]
Virtuelle Beschichtungsläufe zur Design- und Prozessoptimierung
Kontakt: Dr. Steffen Wilbrandt
- Virtuelle Beschichtungsläufe zur Design- und Prozessoptimierung [ PDF 1.05 MB ]
Jitter-Reduktion in passiv gütegeschalteten Mikrochip-Lasern
Kontakt: Prof. Jens Limpert
- Jitter-Reduktion in passiv gütegeschalteten Mikrochip-Lasern [ PDF 1.24 MB ]
Integrierte Bragg-Reflektoren für Hochleistungs-Faserlaser
Kontakt: Prof. Stefan Nolte
- Integrierte Bragg-Reflektoren für Hochleistungs-Faserlaser [ PDF 2.3 MB ]
Polarisations-unsensitive optische Metamaterialien
Prof. Thomas Pertsch
- Polarisations-unsensitive optische Metamaterialien [ PDF 1.92 MB ]
Computergenerierte Hologramme basierend auf Nanostrukturen
Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley
- Computergenerierte Hologramme basierend auf Nanostrukturen [ PDF 2.07 MB ]

Publikationsliste

2008

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2008.

Jahresbericht [ PDF 2.13 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

2 kW inkohärente Strahlkombination von vier schmalbandigen photonischen Kristallfaserverstärkern
Kontakt: Christian Wirth
- 2 kW inkohärente Strahlkombination von vier schmalbandigen photonischen Kristallfaserverstärkern [ PDF 2.01 MB ]
Steigerung der Pulsspitzenleistung hochrepetierender Ultrakurzpulslaser durch nichtlineare Wechselwirkung
Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert
- Steigerung der Pulsspitzenleistung hochrepetierender Ultrakurzpulslaser durch nichtlineare Wechselwirkung [ PDF 0.92 MB ]
Verbesserung des Strahlprofils von Lasern durch resonatorinterne Strahlformung
Kontakt: Hans-Christoph Eckstein
- Verbesserung des Strahlprofils von Lasern durch resonatorinterne Strahlformung [ PDF 1.25 MB ]
Maßgeschneiderte Lichtemission aus OLEDs
Kontakt: Dr. Dirk Michaelis
- Maßgeschneiderte Lichtemission aus OLEDs [ PDF 0.82 MB ]
Polarisierende Metallstreifengitter
Kontakt: Thomas Weber
- Polarisierende Metallstreifengitter [ PDF 0.91 MB ]
Metallspiegel exzellenter Form und Rauheit
Kontakt: Ralf Steinkopf
- Metallspiegel exzellenter Form und Rauheit [ PDF 1.05 MB ]
IR-Strahlteiler für das Instrument LUCIFER
Kontakt: Gerd Harnisch
- IR-Strahlteiler für das Instrument LUCIFER [ PDF 1.52 MB ]
Die analytische Beschreibung optischer Metamaterialien mittels der Multipolmethode
Kontakt: Jörg Petschulat
- Die analytische Beschreibung optischer Metamaterialien mittels der Multipolmethode [ PDF 1.14 MB ]
Antireflexstrukturen AR-plas®
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Antireflexstrukturen AR-plas® [ PDF 5.35 MB ]
Niedertemperaturabscheidung von Indiumzinnoxid
Kontakt: Kevin Füchsel
- Niedertemperaturabscheidung von Indiumzinnoxid [ PDF 0.79 MB ]
Optimierung der optischen und mechanischen Eigenschaften oxidischer Schichten durch Ausnutzung von Nanoporosität
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Optimierung der optischen und mechanischen Eigenschaften oxidischer Schichten durch Ausnutzung von Nanoporosität [ PDF 0.76 MB ]
Mikroskopie im »Wasserfenster«
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Mikroskopie im »Wasserfenster« [ PDF 1.23 MB ]
Makyoh-Imaging zur Charakterisierung von Oberflächendefekten
Kontakt: Alexander von Finck
- Makyoh-Imaging zur Charakterisierung von Oberflächendefekten [ PDF 1.37 MB ]
THz-Bildgebung – von der Komponente zum System
Kontakt: Boris Pradarutti
- THz-Bildgebung – von der Komponente zum System [ PDF 4.65 MB ]
Optikproduktion – Qualitätsüberwachung mit dem optischen 3D-Multi-Sensorsystem »kolibri MULTI lens«
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Optikproduktion – Qualitätsüberwachung mit dem optischen 3D-Multi-Sensorsystem »kolibri MULTI lens« [ PDF 1.21 MB ]
LED-Straßenleuchten
Kontakt: Sergey Kudaev
- LED-Straßenleuchten [ PDF 1.2 MB ]
Kompakter IR-Sensor zur Richtungsbestimmung von Lichtsignalen
Kontakt: Dr. Martin Palme
- Kompakter IR-Sensor zur Richtungsbestimmung von Lichtsignalen [ PDF 0.65 MB ]
Kompakter Rauheitssensor
Kontakt: Dr. Sven Schröder
- Kompakter Rauheitssensor [ PDF 1.18 MB ]
Ultra-kompakter abbildender Sensor für Anwendungen im Automobil
Kontakt: Andreas Brückner
- Ultra-kompakter abbildender Sensor für Anwendungen im Automobil [ PDF 1.25 MB ]
Masken-Chucks für die EUV-Lithographie
Konatakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Masken-Chucks für die EUV-Lithographie [ PDF 0.93 MB ]
Vorrichtung zur Justierung von Keramik-Grünfolien
Konatkt: Matthias Mohaupt
- Vorrichtung zur Justierung von Keramik-Grünfolien [ PDF 1.16 MB ]
Greifer für die rotatorische Ausrichtung polarisationserhaltender Glasfasern
Kontakt Andreas Kamm
- Greifer für die rotatorische Ausrichtung polarisationserhaltender Glasfasern [ PDF 0.62 MB ]

Publikationsliste

2007

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2007.

Jahresbericht [ PDF 1.89 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Mikrooptik für LED-Lichtquellen
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Mikrooptik für LED-Lichtquellen [ PDF 3.38 MB ]
Diamantbearbeitung von ultrapräzisen Freiformen
Kontakt: Ralf Steinkopf
- Diamantbearbeitung von ultrapräzisen Freiformen [ PDF 1.56 MB ]
Organische LED – Lichtauskopplung und Lichtmanagment
Kontakt: Dr. Norbert Danz
- Organische LED – Lichtauskopplung und Lichtmanagment [ PDF 1.36 MB ]
Chirped Microlens Arrays für die Homogenisierung kohärenter Strahlung
Kontakt: Dr. Frank Wippermann
- Chirped Microlens Arrays für die Homogenisierung kohärenter Strahlung [ PDF 1.13 MB ]
Computer Generierte Hologramme
Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner
- Computer Generierte Hologramme [ PDF 0.89 MB ]
fs-Laser geschriebene Faser-Bragg-Gitter für integrierte Faserlaser
Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte
- fs-Laser geschriebene Faser-Bragg-Gitter für integrierte Faserlaser [ PDF 1.32 MB ]
Optische Mikroresonatoren
Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch
- Optische Mikroresonatoren [ PDF 0.96 MB ]
3D-Strukturierung von Lithiumniobat
Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley
- 3D-Strukturierung von Lithiumniobat [ PDF 1.45 MB ]
Hochreflektierende EUV/Röntgen-Multilayerspiegel
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Hochreflektierende EUV/Röntgen-Multilayerspiegel [ PDF 4.86 MB ]
Hochtemperatur LPP Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie
Kontakt: Dr. Torsten Feigl
- Hochtemperatur LPP Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie [ PDF 1.56 MB ]
Hochreflektierende Beschichtungen auf Kunststoffoptiken
Kontakt: Dr. Peter Munzert
- Hochreflektierende Beschichtungen auf Kunststoffoptiken [ PDF 0.63 MB ]
Gesputterte Spiegelschichten für die Optik und Beleuchtungstechnik
Kontakt: Wieland Stöckl
- Gesputterte Spiegelschichten für die Optik und Beleuchtungstechnik [ PDF 0.81 MB ]
Online-Fehlerkorrekturen bei der plasmagestützten Abscheidung von Interferenzschichtsystemen
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Online-Fehlerkorrekturen bei der plasmagestützten Abscheidung von Interferenzschichtsystemen [ PDF 0.7 MB ]
Benetzungsanalyse an mikro- und nanostrukturierten Oberflächen
Kontakt: Marcel Flemming
- Benetzungsanalyse an mikro- und nanostrukturierten Oberflächen [ PDF 2.09 MB ]
Solder Bumping – ein neues, flexibles AVT-Verfahren für optoelektronische Systeme
Kontakt: Dr. Erik Beckert
- Solder Bumping – ein neues, flexibles AVT-Verfahren für optoelektronische Systeme [ PDF 4.04 MB ]
Justierdrehen – eine Schlüsseltechnologie für die Montage von Präzisionsobjektiven
Kontakt: Andreas Gebhardt
- Justierdrehen – eine Schlüsseltechnologie für die Montage von Präzisionsobjektiven [ PDF 1.86 MB ]
Kompakte Pickup-Optik für mobile Blue-Ray-Datenspeicher – Montagekonzept
Kontakt: Matthias Mohaupt
- Kompakte Pickup-Optik für mobile Blue-Ray-Datenspeicher – Montagekonzept [ PDF 1.37 MB ]
Chucks für EUV-Lithographie und AFM-Messtechnik
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Chucks für EUV-Lithographie und AFM-Messtechnik [ PDF 0.93 MB ]
Echtzeit-Bildverarbeitung für den ultra-dünnen Bildsensor
Kontakt: Andreas Brückner
- Echtzeit-Bildverarbeitung für den ultra-dünnen Bildsensor [ PDF 1.17 MB ]
ns-Faserlaser für die Mikromaterialbearbeitung
Kontakt: Christian Wirth
- ns-Faserlaser für die Mikromaterialbearbeitung [ PDF 0.82 MB ]
1 mJ Ultrakurzpuls-Faserverstärker hoher Leistung
Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert
- 1 mJ Ultrakurzpuls-Faserverstärker hoher Leistung [ PDF 1.87 MB ]
Ein akkommodierendes opto- mechanisches Augenmodell zur Beschreibung von Laserimpulseinträgen in das Auge
Kontakt: Dr. Stefan Riehmann
- Ein akkommodierendes opto- mechanisches Augenmodell zur Beschreibung von Laserimpulseinträgen in das Auge [ PDF 1.19 MB ]
Next-Generation Streulichtmesssysteme eröffnen neue Anwendungsfelder
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Next-Generation Streulichtmesssysteme eröffnen neue Anwendungsfelder [ PDF 2.46 MB ]
Intraoraler 3D-Digitalisierer für CAD/CAM in der Zahnmedizin
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Intraoraler 3D-Digitalisierer für CAD/CAM in der Zahnmedizin [ PDF 0.94 MB ]
Messsystem zur THz-Bildgebung mit Zeilendetektor
Kontakt: Dr. Stefan Riehmann
- Messsystem zur THz-Bildgebung mit Zeilendetektor [ PDF 1.53 MB ]
Prüflabor für Fingerprint-Sensoren
Kontakt: Dr. Stefan Riehmann
- Prüflabor für Fingerprint-Sensoren [ PDF 1.07 MB ]

Publikationsliste

2006

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2006

Jahresbericht [ PDF 10.5 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Produktion von mikrooptischen Bauteilen und Systemen
Kontakt: Dr. Ramona Eberhardt
- Produktion von mikrooptischen Bauteilen und Systemen [ PDF 0.5 MB ]
Scharfer Blick ins Weltall – Ultrapräzise Metallspiegel für astronomische und Weltraumanwendungen
Kontakt: Dr. Stefan Risse
- Scharfer Blick ins Weltall – Ultrapräzise Metallspiegel für astronomische und Weltraumanwendungen [ PDF 1.89 MB ]
Infrarot-Kamera für das Skinakas-Observatorium
Kontakt: Dr. Thomas Peschel
- Infrarot-Kamera für das Skinakas-Observatorium [ PDF 0.94 MB ]
Phasenschieber für die DARWIN-Mission
Kontakt: Gerd Harnisch
- Phasenschieber für die DARWIN-Mission [ PDF 0.33 MB ]
Ionenfallen für die Quantencomputer der Zukunft
Kontakt: Claudia Bruchmann
- Ionenfallen für die Quantencomputer der Zukunft [ PDF 1.98 MB ]
Lithographie der nächsten Generation für die Mikrooptik
Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner
- Lithographie der nächsten Generation für die Mikrooptik [ PDF 0.83 MB ]
Blankpressen von Glas als Technologie für Mikro- und Nanooptik
Kontakt: Dr. Peter Dannberg
- Blankpressen von Glas als Technologie für Mikro- und Nanooptik [ PDF 0.47 MB ]
Ultrapräzisionsbearbeitung – Technologie für innovative Optikelemente
Kontakt: Ralf Steinkopf
- Ultrapräzisionsbearbeitung – Technologie für innovative Optikelemente [ PDF 0.69 MB ]
Strategien für die prozessintegrierte Nanorauheits-Kontrolle durch Streulichtmethoden
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Strategien für die prozessintegrierte Nanorauheits-Kontrolle durch Streulichtmethoden [ PDF 0.6 MB ]
Farbsehen mit künstlichen Facettenaugen
Kontakt: Andreas Brückner
- Farbsehen mit künstlichen Facettenaugen [ PDF 0.56 MB ]
Miniaturisierte Laserprojektoren
Kontakt: Dr. Andreas Bräuer
- Miniaturisierte Laserprojektoren [ PDF 1.07 MB ]
Opto- und thermo-mechanisches Design von Hochleistungsfaserlasern
Kontakt: Dr. Thomas Peschel
- Opto- und thermo-mechanisches Design von Hochleistungsfaserlasern [ PDF 0.64 MB ]
Anwendungen optimierter THz-Imaging-Systeme
Kontakt: Boris Pradarutti
- Anwendung optischer THz-Imaging-Systeme [ PDF 0.56 MB ]
Lasergelötete Faserkopplung für UV-Anwendungen
Kontakt: Henrik Banse
- Lasergelötete Faserkopplung für UV-Anwendungen [ PDF 0.87 MB ]
Metamaterialien mit negativem Brechungsindex für die Überwindung der Abbeschen Auflösungsgrenze
Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch
- Metamaterialien mit negativem Brechungsindex für die Überwindung der Abbeschen Auflösungsgrenze [ PDF 1.61 MB ]
Lichtpropagation in fs-Lasergeschriebenen Wellenleitern
Kontakt: Alexander Szameit
- Lichtpropagation in fs-Lasergeschriebenen Wellenleitern [ PDF 0.93 MB ]
Neue Entwicklungen auf dem Gebiet optischer Schichten
Kontakt: Prof. Dr. Norbert Kaiser
- Neue Entwicklungen auf dem Gebiet optischer Schichten [ PDF 1.32 MB ]
Moderne Dünnschichtoptik jenseits des homogenen und isotropen Schichtmodells
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Moderne Dünnschichtoptik jenseits des homogenen und isotropen Schichtmodells [ PDF 0.74 MB ]
Haftfeste Beschichtung von PMMA – von der Prozessentwicklung zur industriellen Nutzung
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Haftfeste Beschichtung von PMMA – von der Prozessentwicklung zur industriellen Nutzung [ PDF 0.7 MB ]
Schutzschichten für EUV-Lithographie-Optiken
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Schutzschichten für EUV-Lithographie-Optiken [ PDF 0.82 MB ]
Stereobasierte Streifenprojektion – industrietaugliche 3D-Digitalisiersysteme
Kontakt: Christoph Munkelt
- Stereobasierte Streifenprojektion – industrietaugliche 3D-Digitalisiersysteme [ PDF 2.46 MB ]
Visuelles Stimulationssystem für den Einsatz in der Magnetoenzephalographie
Kontakt: Uwe Lippmann
- Visuelles Stimulationssystem für den Einsatz in der Magnetoenzephalographie [ PDF 0.66 MB ]
Hochsensitive Bestimmung der Verluste von synthetischem Quarzglas für die 193 nm Immersionslithografie
Kontakt: Dr. Sven Schröder
- Hochsensitive Bestimmung der Verluste von synthetischem Quarzglas für die 193 nm Immersionslithografie [ PDF 0.6 MB ]

Publikationsliste

2005

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2005

Jahresbericht [ PDF 3.59 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

EUV-Multilayer-Optiken
Kontakt: Dr. Torsten Feigl
- EUV-Multilayer-Optiken [ PDF 0.5 MB ]
Ultraplanare Elektrostatische Chucks für Next-Generation-Lithographie
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Ultraplanare Elektrostatische Chucks für Next-Generation-Lithographie [ PDF 0.75 MB ]
Erzeugung komplexer Mikrooptiken durch Lithographie und UV-Abformung
Kontakt: Dr. Peter Dannberg
- Erzeugung komplexer Mikrooptiken durch Lithographie und UV-Abformung [ PDF 1.54 MB ]
Herstellung gechirpter Mikrolinsenarrays durch Reflow von Fotoresist
Kontakt: Dr. Frank Wippermann
- Herstellung gechirpter Mikrolinsenarrays durch Reflow von Fotoresist [ PDF 0.48 MB ]
Verbesserung der Auflösungshomogenität ultra-dünner Bilderfassungssysteme basierend auf künstlichen Facettenaugen
Kontakt: Jaques Duparré
- Verbesserung der Auflösungshomogenität ultra-dünner Bilderfassungssysteme basierend auf künstlichen Facettenaugen [ PDF 1.52 MB ]
RGB-Hologramme zur Farbbilderzeugung
Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley
- RGB-Hologramme zur Farbbilderzeugung [ PDF 0.65 MB ]
Photonische Kristalle für optische Abbildungselemente
Kontakt: Markus Augustin
- Photonische Kristalle für optische Abbildungselemente [ PDF 0.44 MB ]
Faserlaser – Neue Möglichkeiten durch Mikrostrukturierung
Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert
- Faserlaser – Neue Möglichkeiten durch Mikrostrukturierung [ PDF 0.87 MB ]
Systemtechnische Grundlagen für THz-Imaging-Systeme
Kontakt: Boris Pradarutti
- Systemtechnische Grundlagen für THz-Imaging-Systeme [ PDF 0.38 MB ]
Anwendung von OLED-Mikrodisplays in visuellen Stimulationssystemen und in der Messtechnik
Kontakt: Uwe Lippmann
- Anwendung von OLED-Mikrodisplays in visuellen Stimulationssystemen und in der Messtechnik [ PDF 2.06 MB ]
Neue Ansätze für die Behandlung von Presbyopie mit Hilfe ultrakurzer Laserpulse
Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte
- Neue Ansätze für die Behandlung von Presbyopie mit Hilfe ultrakurzer Laserpulse [ PDF 0.99 MB ]
Optiken für ultrakurze Laserpulse – Analyse, Design und Herstellung
Kontakt: Ulrike Fuchs
- Optiken für ultrakurze Laserpulse – Analyse, Design und Herstellung [ PDF 0.28 MB ]
Schichtsysteme für Ultrakurzzeitoptiken
Kontakt: Dr. Martin Bischoff
- Schichtsysteme für Ultrakurzzeitoptiken [ PDF 0.25 MB ]
Omnidirektionale Entspiegelungen auf Basis von Gradientenschichten
Kontakt: Dr. Robert Leitel
- Omnidirektionale Entspiegelungen auf Basis von Gradientenschichten [ PDF 0.45 MB ]
Transparenter Kratzschutz für Kunststoffoptik
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Transparenter Kratzschutz für Kunststoffoptik [ PDF 2.25 MB ]
Streulicht-Messverfahren für Gitter und diamantgedrehte Oberflächen
Kontakt: Stefan Gliech
- Streulicht-Messverfahren für Gitter und diamantgedrehte Oberflächen [ PDF 0.72 MB ]
3-D-Zahndigitalisierer »hiScanμ« – Die dritte Gerätegeneration
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- 3-D-Zahndigitalisierer »hiScanμ« – Die dritte Gerätegeneration [ PDF 0.63 MB ]
FEM-Simulation des Laserstrahllötprozesses zum Fügen optischer Bauteile
Kontakt: Henrik Banse
- FEM-Simulation des Laserstrahllötprozesses zum Fügen optischer Bauteile [ PDF 0.45 MB ]
Optoelektronik für die Analysetechnik
Kontakt: Dr. Erik Beckert
- Optoelektronik für die Analysetechnik [ PDF 0.86 MB ]
Entwicklung von automatischen Vorrichtungen zur innovativen Handhabung von Haaren
Kontakt: Matthias Mohaupt
- Entwicklung von automatischen Vorrichtungen zur innovativen Handhabung von Haaren [ PDF 0.5 MB ]
PCR auf dem Chip – Schnellere Analysen in den Life Sciences mit einem innovativen Ansatz
Kontakt: Claudia Gärtner
- PCR auf dem Chip – Schnellere Analysen in den Life Sciences mit einem innovativen Ansatz [ PDF 0.63 MB ]

Publikationsliste

2004

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2004.

Jahresbericht [ PDF 6.69 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Ultradünnes Bilderfassungssystem basierend auf künstlichen Facettenaugen
Kontakt: Jaques Duparré
- Ultradünnes Bilderfassungssystem basierend auf künstlichen Facettenaugen [ PDF 0.96 MB ]
Konzentratoren für Hochleistungs-LEDs
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Konzentratoren für Hochleistungs-LEDs [ PDF 0.52 MB ]
Kunststoffwafer-Technologie zur parallelen Erzeugung miniaturisierter optischer Systeme
Kontakt: Dr. Peter Dannberg
- Kunststoffwafer-Technologie zur parallelen Erzeugung miniaturisierter optischer Systeme [ PDF 0.22 MB ]
Laser-Lithographie für Mikrooptik auf gekrümmten Oberflächen
Kontakt: Dr. Uwe-Detlef Zeitner
- Laser-Lithographie für Mikrooptik auf gekrümmten Oberflächen [ PDF 0.22 MB ]
Mikromaterialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen
Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte
- Mikromaterialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen [ PDF 0.13 MB ]
Faserlaser – Innovative Strahlquellen für Forschung und Industrie
Kontakt: Holger Zellmer
- Faserlaser – Innovative Strahlquellen für Forschung und Industrie [ PDF 0.35 MB ]
Leichtgewichtspiegel für einen schnellen Lidar-Scanner
Kontakt: Christoph Damm
- Leichtgewichtspiegel für einen schnellen Lidar-Scanner [ PDF 0.65 MB ]
Kleine Stäbchen große Wirkung – Miniaturisiertes Ablenksystem für Lithographieanlagen
Kontakt: Dr. Stefan Risse
- Kleine Stäbchen große Wirkung – Miniaturisiertes Ablenksystem für Lithographieanlagen [ PDF 0.49 MB ]
Mikromontage eines Gitterspaltes für ein astronomisches Spektrometer
Kontakt: Dr. Erik Beckert
- Mikromontage eines Gitterspaltes für ein astronomisches Spektrometer [ PDF 0.28 MB ]
Lotuseffekt, Kohlrabiblatt, Mottenauge? Nanostruktur-Design für ultrahydrophobe Oberflächen
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Lotuseffekt, Kohlrabiblatt, Mottenauge? Nanostruktur-Design für ultrahydrophobe Oberflächen [ PDF 1.28 MB ]
»NANO-motheye« Antireflexstrukturen für Acryl-Polymere
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- »NANO-motheye« Antireflexstrukturen für Acryl-Polymere [ PDF 0.76 MB ]
Präzise kontrollierte Schichten und Oberflächenstrukturen
Kontakt: Dr. Steffen Wilbrandt
- Präzise kontrollierte Schichten und Oberflächenstrukturen [ PDF 0.23 MB ]
Streuverluste fluoridischer Substrate und Schichten bei 193 nm
Kontakt: Dr. Sven Schröder
- Streuverluste fluoridischer Substrate und Schichten bei 193 nm [ PDF 0.24 MB ]
Entwicklung thermisch stabiler MoSi2/Si- und Mo/C/Si/C-Schichtsysteme
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Entwicklung thermisch stabiler MoSi2/Si- und Mo/C/Si/C-Schichtsysteme [ PDF 0.26 MB ]
Optische Simulation einer Strahlungsheizung
Kontakt: Dr. Martin Palme
- Optische Simulation einer Strahlungsheizung [ PDF 0.38 MB ]
»Kolibri 1500« – Ein Gerätesystem zur 3-D-Vermessung komplexer Gussteile
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- »Kolibri 1500« – Ein Gerätesystem zur 3-D-Vermessung komplexer Gussteile [ PDF 0.56 MB ]
Vom Mikrofluidik-Baukasten zur flexiblen Diagnostik-Plattform
Kontakt: Dr. Claudia Gärtner
- Vom Mikrofluidik-Baukasten zur flexiblen Diagnostik-Plattform [ PDF 0.22 MB ]

Publikationsliste

2003

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2003.

Jahresbericht [ PDF 1.38 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Diamantdrehen mikrooptischer Strukturen
Kontakt: Andreas Gebhardt
- Diamantdrehen mikrooptischer Strukturen [ PDF 0.11 MB ]
Geprägte Glaskeramik für optische und optoelektronische Anwendungen
Kontakt: Wolfgang Buß
- Geprägte Glaskeramik für optische und optoelektronische Anwendungen [ PDF 0.09 MB ]
Entwicklung einer Spezialsputteranlage für EUV-Optiken
Kontakt: Dr.Thorsten Feigl
- Entwicklung einer Spezialsputteranlage für EUV-Optiken [ PDF 0.09 MB ]
Beschichtungen für Mikrospiegelarrays
Kontakt: Alexandre Gatto
- Beschichtungen für Mikrospiegelarrays [ PDF 0.09 MB ]
Rugatefilter für den nahen infraroten und visuellen Spektralbereich
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Rugatefilter für den nahen infraroten und visuellen Spektralbereic [ PDF 0.07 MB ]
AR-hard® – Beschichtung mit einstellbarer spektraler Bandbreite für Kunststoffoptik
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- AR-hard® – Beschichtung mit einstellbarer spektraler Bandbreite für Kunststoffoptik [ PDF 0.08 MB ]
Maßschneidern geführter Wellen in Wellenleiterarrays
Kontakt: Dr. Dirk Michaelis
- Maßschneidern geführter Wellen in Wellenleiterarrays [ PDF 0.08 MB ]
Hybride Integration optischer Systeme auf miniaturisierten keramischen Substraten
Kontakt: Dr. Erik Beckert
- Hybride Integration optischer Systeme auf miniaturisierten keramischen Substraten [ PDF 0.08 MB ]
Elektrostatischer Chuck mit integriertem Wafer-Lift
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Elektrostatischer Chuck mit integriertem Wafer-Lift [ PDF 0.07 MB ]
Der Mikrofluidik-Baukasten – Konzepte für die Standardisierung und fluidische Schnittstellen
Kontakt: Dr. Claudia Gärtner
- Der Mikrofluidik-Baukasten – Konzepte für die Standardisierung und fluidische Schnittstellen [ PDF 0.07 MB ]
Metrologie für die Nanotechnik
Kontakt: Marcel Flemming
- Metrologie für die Nanotechnologie [ PDF 0.12 MB ]
Flexible Phasogrammetrie – eine neue Methodik zur 3-D-Rundumvermessung
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Flexible Phasogrammetrie – eine neue Methodik zur 3-D-Rundumvermessung [ PDF 0.1 MB ]
Hochauflösende Streulichtanalyse an optischen Komponenten im VUV bis IR
Kontakt: Stefan Gliech
- Hochauflösende Streulichtanalyse an optischen Komponenten im VUV bis IR [ PDF 0.11 MB ]
Miniaturisiertes markierungsfreies Detektionssystem
Kontakt: Dr. Bürk Schäfer
- Miniaturisiertes markierungsfreies Detektionssystem [ PDF 0.07 MB ]
Optisches Mikrofon
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Optisches Mikrofon [ PDF 0.09 MB ]
Mechanik und Optik vereint – Langzeitarchivierung von farbigen Bildern auf Mikrofilm
Kontakt: Dr. Stefan Risse
- Mechanik und Optik vereint – Langzeitarchivierung von farbigen Bildern auf Mikrofilm [ PDF 0.12 MB ]
Kuppelprojektor
Kontakt: Dr. Stefan Riehemann
- Kuppelprojektor [ PDF 0.1 MB ]
Hochleistungs-Faser- und Wellenleiterlaser
Kontakt: Prof. Dr. Andreas Tünnermann
- Hochleistungs-Faser- und Wellenleiterlaser [ PDF 0.07 MB ]

Publikationsliste

2002

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2002.

Jahresbericht [ PDF 1.66 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Modulierte RGB-Laserquelle für das digitale Photofinishing
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Modulierte RGB-Laserquelle für das digitale Photofinishing [ PDF 0.1 MB ]
Mikrooptisches Beleuchtungsmodul für digitale Projektionsanwendungen
Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner
- Mikrooptisches Beleuchtungsmodul für digitale Projektionsanwendungen [ PDF 0.1 MB ]
Musterbildung in UV-gehärteten Polymeren
Kontakt: Ulrich Streppel
- Musterbildung in UV-gehärteten Polymeren [ PDF 0.1 MB ]
Handhabung mikrooptischer Komponenten in der Mikromontage
Kontakt: Dr. Erik Beckert
- Handhabung mikrooptischer Komponenten in der Mikromontage [ PDF 0.09 MB ]
Laserstrahllöten mikrooptischer Komponenten
Kontakt: Henrik Banse
- Laserstrahllöten mikrooptischer Komponenten [ PDF 0.1 MB ]
Optimierung planarer Fluoreszenz-Biosensoren
Kontakt: Dr. Norbert Danz
- Optimierung planarer Fluoreszenz-Biosensoren [ PDF 0.09 MB ]
Bewertung nanostrukturierter funktionaler Oberflächen: visuelle Inspektion vs. laserbasierte Messung
Kontakt: Marcel Flemming
- Bewertung nanostrukturierter funktionaler Oberflächen: visuelle Inspektion vs. laserbasierte Messung [ PDF 0.09 MB ]
Messsystem zur Bestimmung der winkelabhängigen und totalen Lichtstreuung, Transmission und Reflexion bei 157 nm und 193 nm
Kontakt: Stefan Gliech
- Messsystem zur Bestimmung der winkelabhängigen und totalen Lichtstreuung, Transmission und Reflexion bei 157 nm und 193 nm [ PDF 0.12 MB ]
Finite-Element-Analyse opto-mechanischer Baugruppen
Kontakt: Dr. Thomas Peschel
- Finite-Element-Analyse opto-mechanischer Baugruppen [ PDF 0.06 MB ]
Theoretische und experimentelle Untersuchungen an selbst-schmierenden Luftlagern
Kontakt: Dr. Stefan Risse
- Theoretische und experimentelle Untersuchungen an selbst-schmierenden Luftlagern [ PDF 0.13 MB ]
Messmittelfähigkeit eines optischen 3D-Messsystems
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Messmittelfähigkeit eines optischen 3D-Messsystems [ PDF 0.11 MB ]
Digitale Spaltlampe unter Anwendung von Mikrodisplays
Kontakt: Dr. Stefan Riehemann
- Digitale Spaltlampe unter Anwendung von Mikrodisplays [ PDF 0.11 MB ]
Polymerchipbasierte mikrofluidische Komponenten für Anwendungen in den Life Sciences
Kontakt: Dr. Claudia Gärtner
- Polymerchipbasierte mikrofluidische Komponenten für Anwendungen in den Life Sciences [ PDF 0.12 MB ]
Durchbruch bei Entwicklungen im Bereich der EUV-Lithographie
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Durchbruch bei Entwicklungen im Bereich der EUV-Lithographie [ PDF 0.15 MB ]
Plasma-ionengestützte Beschichtungen von Kunststoff
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Plasma-ionengestützte Beschichtungen von Kunststoff [ PDF 0.09 MB ]
Oberflächenplasmonen in dünnen Schichten
Kontakt: Dr. Olaf Stenzel
- Oberflächenplasmonen in dünnen Schichten [ PDF 0.09 MB ]

Publikationsliste

2001

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2001.

Jahresbericht [ PDF 1.78 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Microoptical sensor for online characterization of textile fibers
Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner
- Microoptical sensor for online characterization of textile fibers [ PDF 0.14 MB ]
Micro optical elements fabricated by RIE proportional transfer
Kontakt: Andre Lothar Matthes
- Micro optical elements fabricated by RIE proportional transfer [ PDF 0.21 MB ]
Mechanical design of a miniaturized UV-VIS spectrometer for space applications
Kontakt: Dr. Thomas Peschel
- Mechanical design of a miniaturized UV-VIS spectrometer for space applications [ PDF 0.08 MB ]
Anomalous light propagation and diffraction control in waveguide arrays
Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch
- Anomalous light propagation and diffraction control in waveguide arrays [ PDF 0.08 MB ]
Adjustment robot for fibre optics assemblies
Kontakt: V. Guyenot
- Adjustment robot for fibre optics assemblies [ PDF 0.07 MB ]
Precise adjustment of mechanical and optical components by linear stroke actuators
Kontakt: C. Siebenhaar
- Precise adjustment of mechanical and optical components by linear stroke actuators [ PDF 0.29 MB ]
Precision chucks for future lithography
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Precision chucks for future lithography [ PDF 0.09 MB ]
Optical 3-D scanning of extraoral defects using »kolibri-mobile«
Kontakt: Dr. Gunther Notni
- Optical 3-D scanning of extraoral defects using »kolibri-mobile« [ PDF 0.13 MB ]
High speed 3-D digitizer for CAD-CAM in industrial and dental applications
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- High speed 3-D digitizer for CAD-CAM in industrial and dental applications [ PDF 0.14 MB ]
Application of microdisplays in optical metrology
Kontakt: Dr. Stefan Riehemann
- Application of microdisplays in optical metrology [ PDF 0.11 MB ]
Radiation resistant VUV coatings for Excimer- and Free Electron Lasers
Kontakt: J. Heber
- Radiation resistant VUV coatings for Excimer- and Free Electron Lasers [ PDF 0.06 MB ]
Light scattering measurements on optical components at 157 nm and 193 nm
Kontakt: J. Steinert
- Light scattering measurements on optical components at 157 nm and 193 nm [ PDF 0.26 MB ]
New multilayer coatings for EUV optics
Kontakt: T. Kuhlmann
- New multilayer coatings for EUV optics [ PDF 0.08 MB ]
Design and characterization of optical coatings with enhanced roughness for ultra-hydrophobic, low scatter applications
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Design and characterization of optical coatings with enhanced roughness for ultra-hydrophobic, low scatter applications [ PDF 0.12 MB ]
Novel design for antireflection coatings
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Novel design for antireflection coatings [ PDF 0.11 MB ]

Publikationsliste

2000

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2000

Jahresbericht [ PDF 1.24 MB ]

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Optical coatings for soft x-ray applications
Kontakt: Dr. Sergiy Yulin
- Optical coatings for soft x-ray applications [ PDF 0.05 MB ]
Hard UV coatings for free electron laser
Kontakt: A. Gatto
- Hard UV coatings for free electron laser [ PDF 0.04 MB ]
Abrasion resistant antireflection coatings for plastic optics
Kontakt: Dr. Ulrike Schulz
- Abrasion resistant antireflection coatings for plastic optics [ PDF 0.04 MB ]
Coating of new polymers for optical applications
Kontakt: Dr. Peter Munzert
- Coating of new polymers for optical applications [ PDF 0.03 MB ]
Substrates and optical coatings for 157 nm applications
Kontakt: J. Heber
- Substrates and optical coatings for 157 nm applications [ PDF 0.02 MB ]
Light scattering measurement with 157 nm techniques
Kontakt: Dr. Angela Duparré
- Light scattering measurement with 157 nm techniques [ PDF 0.15 MB ]
Electrostatic chucks for vacuum lithography
Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski
- Electrostatic chucks for vacuum lithography [ PDF 0.04 MB ]
Wafer stage assembly for Ion Projection Lithography
Kontakt: Christoph Damm
- Wafer stage assembly for Ion Projection Lithography [ PDF 0.03 MB ]
Miniaturized bulk-optical Mach-Zehnder filter for optical code division multiplexing
Kontakt: Dr. Peter Schreiber
- Miniaturized bulk-optical Mach-Zehnder filter for optical code division multiplexing [ PDF 0.09 MB ]
Novel multilayer waveguide technology for optical fan-out structures
Kontakt: U. Streppel
- Novel multilayer waveguide technology for optical fan-out structures [ PDF 0.12 MB ]
Integration of microoptics on wafers with vertical emitting lasers
Kontakt: G. Mann
- Integration of microoptics on wafers with vertical emitting lasers [ PDF 0.22 MB ]
Selfcalibrating 360-deg shape-measurement systems
Kontakt: Dr. Gunther Notni
- Selfcalibrating 360-deg shape-measurement systems [ PDF 0.08 MB ]
Correction of 3-D coordinates using consistence check
Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt
- Correction of 3-D coordinates using consistence check [ PDF 0.15 MB ]
Percutaneous transvascular aortic valve replacement with a self-expanding stent-valve device
Kontakt: M. Ferrari
- Percutaneous transvascular aortic valve replacement with a self-expanding stent-valve device [ PDF 0.03 MB ]

2011

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Optisches Breitbandmonitoring im industriellen Beschichtungsumfeld

Reflexionsoptiken für die nächste Lithographiegeneration

Spektrale Strahlkombination von vier Hochleistungsfaserverstärkern

Silikatisches und direktes Bonden: Hochwertige Fügetechnologien für Glas

Design grundmodiger aktiv dotierter Großkernfasern

Miniaturisierte Sensoren mit bidirektionalen Bauelementen

3D-Schneidkantenvermessung von Präzisionsschneidwerkzeugen

Anwendungsorientierte Benetzungsanalyse hydrophober Oberflächen

Geometrieanalyse mechanischer Systeme mittels Computertomographie

Effizientere OLEDs durch orientierte Triplett Emitter

Deformierbare Multilayer-Spiegel mit parallelen Fertigungstechnologien

Beugungsbegrenztes IR-Spiegelteleskop mit smartem Montageansatz

Ultrapräzise Spiegel mit einer amorphen Siliziumschicht

Aluminiumbasierte Reflektoren für das DUV und VUV

LED-Array-Projektor »LICHTKACHEL«

Facetvision – Insekteninspirierte abbildende optische Systeme

Elektrostatische Chucks für die Lithographie mit 450 mm Wafern

Lichtausbreitung in photonischen Kristallen aus Lithiumniobat

Hocheffiziente EUV- und Röntgengitter zur Plasma-Analyse

Strukturierbare reflexionsgeminderte Chromschichten

Kunststoffbeschichtung unter industriellen Bedingungen

Arrayhafte Masterstrukturen für UV- Replikation mittels Step & Repeat-Prozess

Integrierte Mikro-Interferometer Arrays für parallele MEMS-Inspektion

Universelle Streulichtmodellierung glatter bis strukturierter Oberflächen

Erzeugung hoher Gasharmonischer bei hohen Pulsfolgefrequenzen

Komplexe Phasenelemente auf Basis fs laserinduzierter Nanogitter

3-Dimensionales chirales Metamaterial mit sehr hoher optischer Aktivität

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen 2011

2010

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Design von Komponenten für Hochleistungslaser hoher Strahlqualität

High Speed-High Resolution-Sensor für die Leiterplatteninspektion

Organische UV-Schutzschichten für die Polycarbonatverglasung

Hochrepetierende Few-Cycle-Pulserzeugung für Hochintensitätsphysik

3D-Photonik für astronomische Interferometrie

Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik

THz-Tomographie für die räumliche Identifikation chemischer Substanzen

Fluorreaktive Präparation von Fluorid- und Oxidfluoridschichten für das UV

Lebensdauer von EUV-Optiken

Ultra-dünne Kamera mit VGA-Auflösung

Freiformprisma für head-mounted Display

Richtungsselektive Streuschirme

Chip in the tip - ultrakompakte Endoskopkamera mit VGA-Auflösung

Flachbauendes Mikroskop

Multilagige mikrooptische Module

Lokales Schweißen mit ultrakurzen Laserpulsen

Unterdrückung stimulierter Ramanstreuung in DC-Faserverstärkern

Direktes Bonden: Eine »neue« Bond-Technologie für Glas

Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen

TABLE-TOP-Messsystem für Streulicht, R und T - ALBATROSS-TT

Entspiegelung von Saphirglas

Neue Gitter für Laseranwendungen

Laserstrukturierung poly- und einkristalliner Diamantwerkzeuge

Praxisnahe Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessverfahren

Plasma und optische Technologien (Pluto)

Plasmonisch resonante Nanoringe

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

2009

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Ultrapräzise Metallspiegel für ein neuartiges rotierendes Teleskop

LEDs in der Mess- und Prüftechnik

Rauheitsstrukturen für ressourcensparende Benetzungseigenschaften

Nanostrukturierte SIS-Solarzellen

Ultrakurzpuls-Laser mit 830 W Durchschnittsleistung

Ultrakompaktes Abbildungssystem erhöhter Lichtstärke

Ultraflache Array-Projektionsoptik

Polymerfolien mit Antireflexeigenschaften durch Plasmaätzen – POLAR

Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie

Parallele SPR als Nachweistechnologie für die Biosensorik

Optischer 3D-Handscanner für patientenindividuelle Atemmasken

Löten vakuumdichter Fenster für medizintechnische Produkte

Breitbandige dielektrische Spiegel für medizinische Anwendungen

Spektrometergitter für die Gaia-Weltraummission

Mehrfach-Ablenkarrays für die "Multi Shaped Beam Litography"

Ultrapräzise asphärische Spiegel mit definierten Referenzstrukturen