Messtechnik zur Optikkomponentenprüfung

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Laborausstattung, Messsysteme Typ / Hersteller Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit)
     
Interferometer (µ.Phase) Fisba Oberflächenparameter
     
Interferometer Zygo Oberflächenparameter (Planflächen 6", Referenzplatte Lambda/30)
     
Interferometer Zygo Oberflächenparameter (Planflächen 12", Referenzplatte Lambda/30)