Messung von Abstand / Längen / Dicken / Schwingungen / Winkel

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Laborausstattung, Messsysteme Typ / Hersteller Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit)
     
Vibrometer Polytec Schwingungsanalyse (Amplituden ca. 1nm)
     
opt. Mikrometer Keyence Dickenmessung "Schattenwurf" (Auflösung 0,1 µm)
     
Universallängenmessgerät ULM Zeiss Längenmessung kontaktierend
     
elektron. Autokollimatoren MöllerWedel Winkel (Winkelauflösung 0,1')
     
CAPA NCDT MicroEpsilon kapazitive Sensoren zur Abstandsmessung (Auflösung der Sensoren Meßbereich 50µm - 2 nm, 200 µm - 8 nm; Bestand: 8x Sensoren 200µm, 5 Sensoren x 50 µm, 5 Sensoren 200 µm - vakuumtauglich, 2 Controller 1x-8 Kanal, 1x 5 Kanal)