Messverfahren zur Optikcharakterisierung

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Rastersondenmikroskopische Untersuchung an einer superpolierten Glasoberfläche
Rastersondenmikroskopische Untersuchung an einer superpolierten Glasoberfläche.

Laborausstattung, Messsysteme Typ / Hersteller Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit)
     
MTF-Messung (Modulationstransferfunktion) OEG  
     
Lichtquellenvermessung im Nah- und Fernfeld PRC Krochmann  
     
Mikrodisplaycharakterisierung Eigenbau  
     
Brennweitenbestimmung    
     
Modenspektroskopie, Brechzahl(profil)messung (ATR) Eigenbau n, D von Wellenleiterschichten, Profile (dn ~10-4, (457, 476, 488, 514, 633, 780, 1310, 1550nm, 2 WL Moden))
     
Absorptions- und Wellenleiterdämpfungsmessung OSA/Agilent 86140B Wellenleiterdämpfungsmessung (Weißlichtquelle)
     
Bestimmung thermooptischer Koeffizienten/Abbe Refraktometer
 Eigenbau dn/dT flüssige und feste Proben (20...85°C, dn 0,0003)
     
Bestimmung von Brechzahlverteilungen (RNF) Rinck Elektronik n(x,y) von Wellenleitern (dx~1µm, dn~10-4, (670nm, 1300nm, 1550nm))
     
Shearing-Interferometrie    
     
Autofokusmikroskopie zur Formvermessung    
     
Interferenzmikroskopie zur Schichtdickenmessung    
     
Präzisionsgoniometer    
     
Taktile und interferometrische Systeme zur Vermessung von Freiformen    
     
Autofokusmikroskop zur Formvermessung    
     
Interferenzmikroskop zur Schichtdickenmessung