Oberflächen- und Schichtcharakterisierung

Analyse optischer Eigenschaften

Spektralphotometrie für Transmissions- und Reflexionsmessung im UV/VIS/IR

• Ex-situ Absolutmessung bei variablen Einfallswinkeln, Spektralbereich 200-2500 nm
• Messungen an gekrümmten und kleinen Oberflächen (Messfleck 17-70 µm)
• FTIR-Spektralphotometrie mit einem erweiterten Messbereich bis zu 100 cm^-1
• Analyse der Brechzahl, n und k Konstanten, Schichtdicke, thermischer und Vakuumshift
• Online-Spektrometrie (OptiMon-Technologie) zur in-situ Prozesskontrolle und Vakuumshiftmessung in Transmission

Streulichtanalyse

• Winkelaufgelöstes und totales Streulicht, optische Verluste: BRDF, BTDF, ARS, TS (ISO)
• Hochsensitive Reflexions- und Transmissionsmessungen
• Wellenlängen UV-VIS-IR (13,5 nm, 157 nm, 193 nm – 2700 nm, 4,6 µm, 10,6 µm)

Spektrale Ellipsometrie

• Messung unter variablen Winkeln im Spektralbereich 200-2500 nm
• Bildgebende Ellipsometrie, laterale Auflösung < 1 µm
  

Analyse struktureller Eigenschaften

Topografie- und Rauheitsanalyse 

• Rasterkraftmikroskopie (AFM), Weißlichtinterferometrie (WLI), konfokale Mikroskopie / Laserscanning-Mikroskopie (LSM), Fluoreszenzmikroskopie u. a.
• Kombinative Rauheitsanalyse (Analyse von Rauheitsparametern (ISO), Rauheitsspektrum/ PSD-Analyse, Bestimmung von Strukturparametern)

Analyse von Defekten

• Sub-Surface-Damage (SSD), Homogenität und Anisotropie

Morphologieanalyse

• Lichtmikroskopie (Auf-/Durchlicht, Hell-/Dunkelfeld, Nomarski-Mikroskopie/DIC)
• Rasterelektronenmikroskopie (REM) 
• Röntgenreflektometrie (XRR) und Röntgendiffraktometrie (XRD) 

Schichtzusammensetzung

• Fourier-Transform-Infrarot-Spektroskopie (FTIR)
• Materialanalytik mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) 
  

Analyse der Beständigkeit und mechanischer Eigenschaften

Umweltstabilität

• Tieftemperatur- und Wechselklimaprüfung (ISO)
• Temperaturstabilität
• Globalstrahlungstest unter definierten Klimabedingungen
• Heißluftsterilisation und Autoklavierung
• Löslichkeitsprüfung

Mechanische Stabilität

• Abriebprüfung (ISO)
• Tape-Test zur Haftfestigkeitsanalyse von Schichten (ISO)
• Kratzfestigkeit und Nanoscratching
• Härteprüfung/ E-Modul-Analyse
• Schichtspannungsanalyse

Multispektrale Laserzerstörschwellenanalyse (ISO), Laser-induzierte Degradation 

Analyse funktionaler Eigenschaften

Benetzungsanalyse

• Bestimmung hydrophober, hydropphiler, oleophober, oleophiler Eigenschaften, Fogging-Analyse
• Statische und dynamische Kontaktwinkelmessung im Testbereich zwischen -20 °C und 400 °C
• Analyse kleinster Probenoberflächen mit Nanoliterdosiersystem

Elektrische Schichteigenschaften

• Schichtwiderstand, spezifischer Widerstand, Ladungsträgerdichte, Ladungsträgermobilität

Fluoreszensmikroskopie