Schicht- und Oberflächenanalyse mittels Rasterelektronenmikroskopie

Kompetenz

Bei der Entwicklung neuer Produkte, Materialien oder der Fehleranalyse wird häufig eine einfache und präzise Lösung für applikative Fragestellungen gewünscht. Mittels hochauflösender Feldemissions- Rasterelektronenmikroskopie (FE-REM) können Oberflächen und Querschnitte bis in den Mikro- und Nanometerbereich ohne aufwendige Probenpräparation mit sehr hoher Schärfentiefe abgebildet werden.

Weitere Stärken dieser Technik liegen im hohen Informationsgehalt der Bilder infolge des dreidimensionalen Eindrucks von Strukturen. Auch  strahlempfindliche Proben (z. B. Polymere) können durch Anwendung von geringen Beschleunigungsspannungen untersucht werden. Durch Bestimmung der chemischen Zusammensetzung mittels Röntgenmikroanalyse (EDX) ist eine umfassende Charakterisierung von Proben, Defekten, Ablagerungen, ect. möglich.

 

Technische Daten

REM:

  • Beschleunigungsspannung: 0,1-30 kV
  • Laterale Auflösung: Bis ca. 3 nm
  • Probengeometrie: Max. Ø = 250 mm, h = 145 mm

EDX:

  • Quantitative Elementanalytik
  • Nachweisbare Elemente: Bor - Polonium
  • Nachweisgrenzen: ca. 0,1-1 %
  • Laterale Auflösung: Bis min. 0,4 µm
  • Informationstiefe: ca. 1 µm

 

Unser Angebot

  • Untersuchung der Oberflächentopographie
  • Strukturanalyse von Beschichtungen
  • Materialanalytik mittels Energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) 
  • Defektanalysen an beschichteten sowie unbeschichteten Oberflächen 
  • Erstellung von Elementverteilungsbildern