Streulichtmessung und -analyse

Die rasanten Entwicklungen in den optischen Technologien stellen immer höhere bis völlig neuartige Anforderungen an die Qualität von Materialien, Oberflächen, Komponenten und Systemen. Beispiele für treibende Faktoren sind hier die sich ständig verkleinernden Strukturgrößen in der Halbleiterlithografie, hochpräzise komplexe Oberflächen für die Astronomie sowie nanostrukturierte Funktionsflächen für Consumer-Optiken. In allen Bereichen ist eine Minimierung von Defekten, Rauheiten und anderen streulichtwirksamen Irregularitäten wesentlich.

Gleichzeitig muss durch qualitätsüberwachende Analytik gewährleistet werden, dass die entsprechenden minimalen Defekte und Rauheiten noch detektiert werden können. Für diese Analytik etablieren sich zunehmend Streulichtmethoden für die hocheffiziente, berührungslose und schnelle Bestimmung von Rauheiten und Defekten.

 

Messsysteme

  • Kompakte Table-Top-Systeme (ALBATROSS-TT)
  • Prozessintegrierbare Prüfsysteme (horos)
  • Flexible Laborsysteme zur winkelaufgelösten (BSDF, ARS) und totalen Streulichtmessung (Wellenlängen: 13,5 nm bis 10,6 µm)

 

Anwendungen

  • Charakterisierung optischer und technischer Oberflächen, Materialien, und Beschichtungen
  • Rauheitsmessung
  • Defektdetektion
  • Streulichtanalyse
  • Qualitätsprüfung (z. B. UP-bearbeitete Oberflächen)
  • Verlustdiagnose bei Schichtsystemen
  • Gittereffizienzmessung
  • T-, R-Messung

 

Wir bieten an:

  • Entwicklung kundenspezifischer Messsysteme
  • Lösung von FuE-Aufgaben