Vermessung von Freiformen durch computer generierte Hologramme (CGH)

Optisches Design eines CGHs für einen Freiformspiegel.
© Fraunhofer IOF

Optisches Design eines CGHs für einen Freiformspiegel.

Strukturiertes CGH auf 6-Zoll Mask Blank (152 mm x 152 mm x 6,35 mm).
© Fraunhofer IOF

Strukturiertes CGH auf 6-Zoll Mask Blank (152 mm x 152 mm x 6,35 mm).

Aufbau zur interferometrischen Vermessung eines Freiformspiegels.
© Fraunhofer IOF

Computer-generierte Hologramme (CGHs) ermöglichen die kontaktfreie, interferometrische Vermessung anspruchsvoller optischer Oberflächen, wie z. B. Asphären oder Freiformen, mit Genauigkeiten < 10 nm RMS. Für die Realisierung dieser Genauigkeiten bedarf es einer hochpräzisen lithographischen Herstellung und der Verwendung spezieller Substrate
mit Ebenheiten im Sub-100nm-Bereich.

 

Unser Leistungsangebot:

  • Optisches Design von Phasenfunktionen und Layout
  • Bereitstellung und Korrektur von Substraten (transmittierter Wellenfrontfehler < 10 nm RMS)
  • Lithographische Herstellung
  • Charakterisierung der Positioniergenauigkeit
  • Messung des transmittierten Wellenfrontfehlers

 

Lithographische Prozesskette

  • Beschichtung des Substrats mit Chrom und Photoresist
  • Belichtung mittels Elektronenstrahl-Lithographie
  • Strukturtransfer in Chrommaske durch reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Strukturtransfer in Substrat durch RIE
  • Entfernen der Chrommaske (auch selektiv möglich)

 

Technische Parameter

  • Verfügbare Substratgrößen:
  •     6-Zoll (152 x 152 x 6,35) mm
  •     9-Zoll (230 x 230 x 9) mm
  •     ET (292 x 150 x 15) mm
  • Positioniergenauigkeit Belichtungsprozess < 20 nm (3σ)