Motivation
Mithilfe des am Fraunhofer IOF neuentwickelten online-Spektrometers »OptiMon« wird das Transmissionsspektrum einer wachsenden Schicht fortlaufend erfasst. Auf Basis der gemessenen Transmissionsspektren ermittelt eine Software die tatsächlich erreichten Konstruktionsparameter des Schichtsystems und vergleicht diese permanent mit den Sollwerten.
Verfahren
Zur Untersuchung der optischen Eigenschaften kommt Spektralphotometrie (Messungen von gerichteter und diffuser Transmission und Reflexion) zum Einsatz, für ortsaufgelöste Untersuchungen steht ein Mikroskopphotometer zur Verfügung.
Parameter der Detektoren für die transmissive Messung (OptiMon) und die Plasmaemissionsmessung (PlasmaMonitor)
| OptiMon | PlasmaMonitor | |
|---|---|---|
| spectral range | 360 - 920 nm | 200 - 850 nm |
| slit | 140 µm | 50 µm |
| optical resolution | ca. 5 nm | ca. 2 nm |
| typical integration time | 4 ms | 4 ms |