Bei der Entwicklung der optischen Systemtechnik kommen unterschiedliche kommerzielle Design-, Analyse-, und Konstruktionsprogramme zum Einsatz. Hierzu zählen:

• Optikdesignprogramme:
  ASAP, OSLO, ZEMAX, Zelum, VOL, GLAD, OPTI_BPM, OPTI_FDTD, FIMMWAVE, JCMWave, ATSOS, GratingSolver, Unigit, FRED, SPEOS
  
• Raytracing: ZEMAX, OSLO, ASAP, TracePro, LucidShape
  
• Wellenpropagation:
  VirtualLab 4, GLAD
• Gitterberechnung:
  UNIGIT, GSolver
  
• CAD-Programme:
  ProEngineer, Rhino, AutoCad, Inventor
  
• FEM-Simulation für Stress, Temperatur, Strukturanalyse mit ANSYS
• Diverse Bildverarbeitungssoftware

Darüber hinaus werden problemspezifische add-ons wie Makros und Dateninterfaces zur Erweiterung der Funktionalität der Software genutzt.

Messtechnische Software

• Software zur 3D-Oberflächenkonstruktion, Qualitätskontrolle und Visualisierung:
  Raindrop, VG Studio max: VolumeGraphics, Polyworks Software: Duwe 3D, Geomagic Software: Geomagic Ltd.
  
• Rauheitsanalysesoftware:
  Mark III
  
• Software zur numerischen Analyse:
  MATLAB
• Dünnschichtdesign:
  OptiLayer, Essential Macleod, Film Wizard
  
• Dünnschichtcharakterisierung:
  OptiChar, OptiRE, Essential Macleod, Film Wizard, Refsim, Laptos, LCalc
  
• Streulichtanalyse:
  CalcScat
• Mechanische Eigenschaften
  FilmDoctor