Photolithographie, Laserstrahllithographie, Drucken funktionaler Materialien, Stochastischer Strukturen zur Entspiegelung, Elektronenstrahllithographie, UV-Abformung, Kombination von Lithographie, Trockenätzen und Abformung, Abformwerkzeuge, Mikro- und Nanostrukturtechnik für die Optik
Design optischer Schichtsysteme, EUV- und Röntgenschichten, VUV-, NIR- und VIS-Schichten, Kunststoffbeschichtung, Transparente und leitfähige Beschichtungen, Stochastische Strukturen zur Entspiegelung
Ultrakurzpulslaser mit Pulsdauern von wenigen Pikosekunden oder Femtosekunden besitzen hohes Einsatzpotenzial zur hochpräzisen Strukturierung verschiedener Materialien, insbesondere Metalle, Gläser, Halbleiter, biologische Gewebe.
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