Schwarzschild-Objektiv für den EUV-Spektralbereich

Die Vorteile und der Aufbau von Schwarzschild-Objektiven

 

Schwarzschild-Objektive werden im EUV-Spektralbereich wegen ihrer großen Apertur, der Freiheit von chromatischen Aberrationen und ihrer hohen mechanischen Stabilität als Abbildungsoptiken eingesetzt. Ein Schwarzschild-Objektiv besteht aus einem Primär- und einem Sekundärspiegel, wobei sowohl sphärische als auch asphärische Oberflächen realisierbar sind. Die optischen Elemente werden über Festkörpergelenke spannungsarm und mechanisch stabil gehaltert. Die Objektivbaugruppe kann für eine in-situ Justierung ausgelegt werden.

Unser Leistungsangebot

 

  • Design und Fertigung von Schwarzschild-Objektiven für den EUV-Spektralbereich nach kundenspezifischen Anforderungen
  • Beschichtung von Schwarzschild-Objektiven mit lateralen Mo/Si-Gradientenschichtsystemen, Transmission: T > 45 % @ 13,5 nm
  • Auslegung, Berechnung und Realisierung der Spiegelhalterung

 

Unsere Kompetenzen im Bereich von EUV-Objektiven

 

  • Realisierung beugungsbegrenzter Objektivbaugruppen für 13,5 nm mit einer Auflösung von < 20 nm
  • EUV-Optik-Design nach kundenspezifischen Anforderungen
  • Fertigung der beschichteten Optik-Komponenten für 13,5 nm
  • Mechanik-Design und Konstruktion der Objektivbaugruppe
  • Spannungsarme Halterung der optischen Komponenten mit minimaler Deformation der optisch wirksamen Flächen
  • Positionsgenauigkeit der optischen Flächen: < 1,5 µm Dezentrierung, < 10 µm axialer Versatz
  • Fassungsdesign frei von Kohlenwasserstoffen
Optische Komponenten und Strahlungsquellen.
© Fraunhofer IOF
Optische Komponenten und Strahlungsquellen für Anwendungen im Röntgenbereich - Ein gemeinsames Projekt mehrer Fraunhofer-Institute.

Haben wir Ihr Interesse geweckt?

 

Dann kontaktieren Sie uns.

Wir entwickeln maßgeschneiderte Lösungen für photonische Fragestellungen aus der Industrie und Wissenschaft.

Es ist etwas unklar?

 

Stellen Sie uns Ihre Fragen.
Wir helfen gern weiter.

Bei Fragen zur Zusammenarbeit mit uns, finden Sie unter folgendem Link weitere Infos:

 

Sie finden nicht die passende Lösung für Ihr Anliegen?

Dann sprechen Sie uns trotzdem an.

Wir entwickeln neue Beschichtungen und optische Systeme, angepasst an die Anforderungen unserer Kunden.

Weiterführende Informationen

EUV/XUV-Beschichtungen

Erfahren Sie mehr über die Möglichkeiten und den Leistungsangeboten im Bereich der Schichten und Schichtsystemen im extrem ultravioletten Spektralbereich am Fraunhofer IOF.

EUV/XUV-Beschichtungen

Charakterisierung von EUV-Komponenten

Am Fraunhofer IOF bieten wir Forschungs- und Entwicklungsleistungen für die Charakterisierung der Reflexions- und Streulichteigenschaften von EUV-Schichtsystemen an.  

Charakterisierung von EUV-Komponenten

Funktionelle Oberflächen und Schichten

Erhalten Sie einen Überblick über das gesamte Leistungsangebot unserer wissenschaftlichen Fachabteilung »Funktionelle Oberflächen und Schichten« am Fraunhofer IOF.

Zur Übersichtsseite