Das Fraunhofer IOF entwickelte eine neue Generation von Streulichtmesssystemen, in denen exklusive Funktionen wie
- Überdeckung des gesamten 3D-Raums,
- höchste Sensitivität (Dynamikbereich bis 15 Größenordnungen, Untergrund < 0,05 ppm),
- Rauheitsbestimmung bis 0,1 nm (rms),
- Verknüpfung verschiedener Messmodi (Streulicht, Reflexion, Transmission, Gittereffizienz, 2 Θ etc.),
- Wellenlängenbereich 13,5 nm bis 10,6 µm,
- Messung von Oberflächen-, Grenzflächen- und Volumenstreuung
realisiert sind. Die Messsysteme bestimmen hinsichtlich Leistungsumfang und Leistungsparamtern den internationalen Stand.
Das System ALBATROSS arbeitet bei verschiedenen Laserwellenlängen vom ultravioletten bis infraroten Bereich, in allen drei Raumrichtungen, winkelaufgelöst (ARS-Angle Resolved Scatter), polarisationsabhängig und ist auch für komplex geformte sowie sehr große Bauteile mit Kantenlängen bis zu 500 mm geeignet. Technisch raue bis superpolierte optische Oberflächen können untersucht werden. Im gleichen Wellenlängenbereich wird das System TScatt eingesetzt, das die totale Streuung (TS) sowohl in Rückwärts- als auch in Vorwärtsstreurichtung nach ISO 13696 misst.