Mikro- undnanostrukturierte Optik
Photolithographie, Laserstrahllithographie, Drucken funktionaler Materialien, Stochastischer Strukturen zur Entspiegelung, Elektronenstrahllithographie, UV-Abformung, Kombination von Lithographie, Trockenätzen und Abformung, Abformwerkzeuge, Mikro- und Nanostrukturtechnik für die Optik