Nanoporöse Oxidschichten mit ausbalanciertem Eigenschaftsspektrum

Motivation

Optische und mechanische Eigenschaften dünner Schichten sind für das Anwendungspotenzial eines Dünnschichtsystems wichtig. Diese Schichteigenschaften sind nicht unabhängig voneinander optimierbar.

Deshalb konzentriert sich das Fraunhofer IOF auf das Auffinden von Schichtpräparationsstrategien, die einen auf die jeweils anvisierte Anwendung optimalen Kompromiss zwischen optischen und mechanischen Schichteigenschaften bieten.

Eine gezielt in ihren Eigenschaften beeinflusste Porenfraktion kann beispielsweise der Schlüssel für die Einstellung eines derartigen Eigenschaftsprofils sein.

 

Kompetenz

Das Fraunhofer IOF entwickelt Schichtpräparationsstrategien, die zu spannungs- und shiftarmen Proben mit akzeptablen Brechzahlen führen.

Durch Optimierung der APS-gestützten Elektronenstrahlverdampfung wurden oxidische Proben mit derartigem Eigenschaftsprofil synthetisiert und charakterisiert.

Untersuchungen der Nanostruktur mittels Transmissionselektronenmikroskopie verifizierten die Annahme einer Porenfraktion in diesen Schichten.

 

Unser Angebot

  • Charakterisierung von Dünnschichtproben hinsichtlich optischer Konstanten, Shiftverhalten und mechanischer Spannung
  • Verfahrensoptimierung zur Herstellung optischer Schichten mit angestrebtem Eigenschaftsprofil