Schwarzschild-Objektiv für den EUV-Spektralbereich

Motivation

Schwarzschild-Objektive werden im EUV-Spektralbereich wegen ihrer großen Apertur, der Freiheit von chromatischen Aberrationen und ihrer hohen mechanischen Stabilität zunehmend als Abbildungsoptiken eingesetzt. Ein Schwarzschild-Objektiv besteht aus einem Primär- und einem Sekundärspiegel, wobei sowohl sphärische als auch asphärische Oberflächen realisierbar sind. Die optischen Elemente werden über Festkörpergelenke spannungsarm und mechanisch stabil gehaltert. Die Objektivbaugruppe kann für eine in-situ Justierung ausgelegt werden.

 

Kompetenzen

  • Realisierung beugungsbegrenzter Objektivbaugruppen für 13,5 nm mit einer Auflösung von <20 nm
  • EUV-Optik-Design nach kundenspezifischen Anforderungen
  • Fertigung der beschichteten Optik-Komponenten für 13,5 nm
  • Mechanik-Design und Konstruktion der Objektivbaugruppe
  • Spannungsarme Halterung der optischen Komponenten mit minimaler Deformation der optisch wirksamen Flächen
  • Positionsgenauigkeit der optischen Flächen: < 1,5 µm Dezentrierung, < 10 µm axialer Versatz
  • Fassungsdesign frei von Kohlenwasserstoffen

 

Unser Angebot

  • Design und Fertigung von Schwarzschild-Objektiven für den EUV-Spektralbereich nach kundenspezifischen Anforderungen
  • Beschichtung von Schwarzschild-Objektiven mit lateralen Mo/Si-Gradientenschichtsystemen, Transmission: T > 45 % @ 13,5 nm
  • Auslegung, Berechnung und Realisierung der Spiegelhalterung