Beschichtungsanlage PRECICOAT

PRECICOAT: Magnetronsputtern für die Präzisionsoptik

Was ist PRECICOAT?

Mittels Magnetronsputtern lassen sich dichte Schichten homogen und reproduzierbar auf großen optischen Elementen abscheiden. In der Beschichtungsanlage PRECICOAT wird das genutzt, um den steigenden Anforderungen an die Qualität und Homogenität der Beschichtung auf großen Optiken gerecht zu werden.

Technische Daten

Die Beschichtungsanlage ist für die homogene Beschichtung einer Fläche von
500 x 500 mm2 ausgelegt. Sie ist mit acht Kathodenstationen ausgestattet, die sich auf zwei Vakuumkammern verteilen. In der ersten Kammer stehen vier Kathoden vorwiegend für die Abscheidung von Metallschichten durch (gepulstes) DC-Sputtern zur Verfügung. In Kammer II werden vier Kathoden paarweise als Doppelmagnetrons betrieben. So werden dielektrische Schichten durch reaktives MF-Sputtern abgeschieden. Zusätzlich wird eine lineare Ionenquelle zur Oberflächenkonditionierung betrieben.

Anwendungsgebiete

Aufgrund der Aufteilung auf zwei Beschichtungskammern ist PRECICOAT prädestiniert für die Abscheidung metall-dielektrischer Schichtsysteme. Metalle werden bei geringem Restgasdruck in der ersten Kammer abgeschieden, die dielektrischen Schichten reaktiv in der zweiten Kammer aufgebracht. Weitere spezielle Anwendungen sind geschützte Metallspiegel z. B. für Weltraum- und Astronomieanwendungen und strukturierbare Metallschichten für die Mikrooptik. Auch das gesamte Spektrum dielektrischer Schichtsysteme kann abgeschieden werden.