horos – Kompakter optischer Rauheitssensor

Oberflächen- und Schichtcharakterisierung

 

Analyse optischer Eigenschaften

 

Spektralphotometrie für Transmissions- und Reflexionsmessung im UV/VIS/IR

  • Ex-situ Absolutmessung bei variablen Einfallswinkeln, Spektralbereich 200-2500 nm
  • Messungen an gekrümmten und kleinen Oberflächen (Messfleck 17-70 µm)
  • FTIR-Spektralphotometrie mit einem erweiterten Messbereich bis zu 100 cm-1
  • Analyse der Brechzahl, n und k Konstanten, Schichtdicke, thermischer und Vakuumshift
  • Online-Spektrometrie (OptiMon-Technologie) zur in-situ Prozesskontrolle und Vakuumshiftmessung in Transmission

 

Streulichtanalyse

  • Winkelaufgelöstes und totales Streulicht, optische Verluste: BRDF, BTDF, ARS, TS (ISO)
  • Hochsensitive Reflexions- und Transmissionsmessungen
  • Wellenlängen UV-VIS-IR (13,5 nm, 157 nm, 193 nm – 2700 nm, 4,6 µm, 10,6 µm)

 

Spektrale Ellipsometrie

  • Messung unter variablen Winkeln im Spektralbereich 200-2500 nm
  • Bildgebende Ellipsometrie, laterale Auflösung < 1 µm

 

 

Analyse struktureller Eigenschaften

 

Topografie- und Rauheitsanalyse 

  • Rasterkraftmikroskopie (AFM), Weißlichtinterferometrie (WLI), konfokale Mikroskopie / Laserscanning-Mikroskopie (LSM), Fluoreszenzmikroskopie u. a.
  • Kombinative Rauheitsanalyse (Analyse von Rauheitsparametern (ISO), Rauheitsspektrum/ PSD-Analyse, Bestimmung von Strukturparametern)

 

Analyse von Defekten

  • Sub-Surface-Damage (SSD), Homogenität und Anisotropie

 

Morphologieanalyse

  • Lichtmikroskopie (Auf-/Durchlicht, Hell-/Dunkelfeld, Nomarski-Mikroskopie/DIC)
  • Rasterelektronenmikroskopie (REM) 
  • Röntgenreflektometrie (XRR) und Röntgendiffraktometrie (XRD) 

 

Schichtzusammensetzung

  • Fourier-Transform-Infrarot-Spektroskopie (FTIR)
  • Materialanalytik mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) 

 

 

Analyse der Beständigkeit und mechanischer Eigenschaften

 

Umweltstabilität

  • Tieftemperatur- und Wechselklimaprüfung (ISO)
  • Temperaturstabilität
  • Globalstrahlungstest unter definierten Klimabedingungen
  • Heißluftsterilisation und Autoklavierung
  • Löslichkeitsprüfung

 

Mechanische Stabilität

  • Abriebprüfung (ISO)
  • Tape-Test zur Haftfestigkeitsanalyse von Schichten (ISO)
  • Kratzfestigkeit und Nanoscratching
  • Härteprüfung/ E-Modul-Analyse
  • Schichtspannungsanalyse

 

Multispektrale Laserzerstörschwellenanalyse (ISO), Laser-induzierte Degradation 

 

 

Analyse funktionaler Eigenschaften

 

Benetzungsanalyse

  • Bestimmung hydrophober, hydropphiler, oleophober, oleophiler Eigenschaften, Fogging-Analyse
  • Statische und dynamische Kontaktwinkelmessung im Testbereich zwischen -20 °C und 400 °C
  • Analyse kleinster Probenoberflächen mit Nanoliterdosiersystem

 

Elektrische Schichteigenschaften

  • Schichtwiderstand, spezifischer Widerstand, Ladungsträgerdichte, Ladungsträgermobilität

 

Fluoreszensmikroskopie