Komplexe mikrooptische Module

Motivation

Ziel ist die präzise Herstellung hybridintegrierter Module für Beleuchtung und Abbildung, Strahlformung, Sensoren und Displayanwendungen im Wafermaßstab mit anschließender Vereinzelung.

 

Technologisches Konzept

  • Stapeln optischer Funktionsflächen / Wafer
  • UV-Abformung mikrooptischer Elemente
  • Metall- bzw. dielektrische Beschichtung
  • Strukturierung von Filtern, Blenden und Metallgittern durch Lithographie