Fotosammlung für Fraunhofer-Verbund Light & Surfaces

Niedertemperaturabscheidung von transparenten und leitfähigen Schichten

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Motivation

Die Einsatzmöglichkeiten von transparenten und leitfähigen Oxiden (TCOs) reichen von IR-Reflektoren, Antistatik-Schichten bis hin zu transparenten Elektroden.

Der stetig steigende Einsatz von leichten und bruchsicheren Kunststoffen, wie z. B. Polycarbonat oder Zeonex, erforderte die Entwicklung von Niedertemperaturbeschichtungsverfahren.

 

Niedertemperaturverfahren

Mittels Plasma-Ionengestütztem Aufdampf- (Plasma-IAD) und Sputterverfahren gelingt es hochtransparente und leitfähige Schichten aus Indiumzinnoxid (ITO) oder aluminiumdotiertem Zinkoxid (AZO) bei Temperaturen unterhalb von 100 °C auf Kunststoffsubstraten abzuscheiden.

 

Eigenschaften

Mit Hilfe der eingesetzten Herstellungsverfahren lassen sich Schichten mit einem spezifischen Widerstand im Bereich von 4 μΩm realisieren. Dadurch ergeben sich bereits bei dünnen Schichten Flächenwiderstände unterhalb von 10 Ω/❐.

Aufgrund der geringen Absorption mit einem mittleren Extinktionskoeffizienten unter 7*10-3 im sichtbarem Spektralbereich sind hochtransparente Schichten und Schichtsysteme herstellbar.

Klimastabilität, Abriebfestigkeit und geringe Oberflächenrauheit erlauben die Implementierung in Entspiegelungs- und Reflektoroptiken für eine Vielzahl von Anwendungen.