Die rasanten Entwicklungen in den optischen Technologien stellen immer höhere bis völlig neuartige Anforderungen an die Qualität von Materialien, Oberflächen, Komponenten und Systemen. Beispiele für treibende Faktoren sind hier die sich ständig verkleinernden Strukturgrößen in der Halbleiterlithografie, hochpräzise komplexe Oberflächen für die Astronomie sowie nanostrukturierte Funktionsflächen für Consumer-Optiken. In allen Bereichen ist eine Minimierung von Defekten, Rauheiten und anderen streulichtwirksamen Irregularitäten wesentlich.
Gleichzeitig muss durch qualitätsüberwachende Analytik gewährleistet werden, dass die entsprechenden minimalen Defekte und Rauheiten noch detektiert werden können. Für diese Analytik etablieren sich zunehmend Streulichtmethoden für die hocheffiziente, berührungslose und schnelle Bestimmung von Rauheiten und Defekten.
Messsysteme
- Hochempfindliche Streulichtsensoren (MLS5, MLS10)
- Robotischer Streulichtsensor (horos)
- System zur direkten und absoluten Absorptionsmessung (Laser-Induced Deflection, LID)
- System zur Gesamtverlustmessung (Cavity Ring-Down, CRD)
- Flexible Laborsysteme zur winkelaufgelösten (BSDF, ARS) und totalen Streulichtmessung (Wellenlängen: 13,5 nm bis 10,6 µm), Absorption und Gesamtverlust
Anwendungen
- Charakterisierung optischer und technischer Oberflächen, Werkstoffe und Beschichtungen
- Rauheitsmessung
- Fehlererkennung
- Streulichtanalyse
- Qualitätsprüfung (z. B. UP-bearbeitete Oberflächen)
- Verlustdiagnose in Schichtsystemen
- Gitterwirkungsgradmessung
- T-, R-Messung
Wir bieten an:
- Problemlösungen für optische Werkstoffe, Oberflächen und Beschichtungen durch kombinierte Messtechnik und Analyse (FuE)
- Entwicklung kundenspezifischer Laborsysteme
- Entwicklung von In-situ-Prüfwerkzeugen für die Prozesskontrolle und Produktion