Ziel
Das Fraunhofer IOF bearbeitet kleine Strukturen in Glas, Keramik, Silizium, Verbundwerkstoffen, Hartmetallen mit CNC-Technologie.
Technologie
- Ultraschallunterstütztes Schleifen mit beschichteten Spezialwerkzeugen
- 5-Achsen Simultan Universal Bearbeitungszentrum
Technische Daten
- Spindeldrehzahl: 0 - 42.000 U/min
- Maximale Werkstückabmessung: 350 mm x 240 mm x 340 mm
- Minimaler Werkzeugdurchmesser: 0,4 mm
- Bearbeitungstoleranzen: < 10 μm
- Steuerung: Siemens 840D
Anwendungen
Herstellung von Bohrungen und beliebiger Fräskonturen bis hin zu Freiformflächen in spröden Materialien:
- Quarzglas, BK7, Borofloatglas
- Ceran, Zerodur
- Aluminiumoxid
- Sinterkeramik
- Zirkonoxid
- Silizium
Bearbeitungsbeispiele
- Kühlstrukturen in Siliziumwafer
- Dosierspiralen in Glaswerkstoffe
- Trägerbauteile aus Glaswerkstoffen
- Anschlagflächen an Optikbauteile
- Öffnungsbohrungen in Optikbauteile
- Bohrungen in Mehrlagenkeramik
- Freiformflächen in Glas