Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen

Durch die entwickelte Technologie der Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen gelingt es der Ultrapräzisionsbearbeitung, an den Grenzbereich verschiedener lithographischer Verfahren zum Strukturieren dreidimensionaler Mikrooptiken anzuschließen.

 

Herstellung von

  • 3D-mikrooptischen Strukturen in optischer Qualität
  • Geometrien, die mit lithographischen Verfahren, wie z. B. der Photo-, Grauton- oder Laserlithographie schwer oder nicht strukturierbar sind
  • Freiformgeometrien

 

Technologie

  • Spanabhebendes Verfahren mit kleinen Diamantwerkzeugen

 

Verfahren

  • Fertigung eines Linsenarrays als Formeinsatz eines Spritzgießwerkzeugs, dessen abgeformtes Kunststofflinsenarray als 3D-mikrooptisches abbildendes Element zum Transfer einer ebenen Maske auf eine gekrümmte Substratoberfläche mittels eines Lithographieprozesses dient
  • Anschließende Replikation durch Spritzgießen