Rastersondenmikroskopische Untersuchung an einer superpolierten Glasoberfläche

Messverfahren zur Optikcharakterisierung

Laborausstattung, Messsysteme

Typ / Hersteller

Aufgabe (Messbereich/Auflösung/Genauigkeit)

MTF-Messung (Modulationstransferfunktion)

OEG

 

Lichtquellenvermessung im Nah- und Fernfeld

PRC Krochmann

 

Mikrodisplaycharakterisierung

Eigenbau

 

Brennweitenbestimmung

   

Modenspektroskopie, Brechzahl(profil)messung (ATR)

Eigenbau

n, D von Wellenleiterschichten, Profile (dn ~10-4, (457, 476, 488, 514, 633, 780, 1310, 1550 nm, 2 WL Moden))

Absorptions- und Wellenleiterdämpfungsmessung

OSA/Agilent 86140B

Wellenleiterdämpfungsmessung (Weißlichtquelle)

Bestimmung thermooptischer Koeffizienten/Abbe Refraktometer

Eigenbau

dn/dT flüssige und feste Proben (20...85° C, dn 0,0003)

Bestimmung von Brechzahlverteilungen (RNF)

Rinck Elektronik

n(x,y) von Wellenleitern (dx~1µm, dn~10-4, (670 nm, 1300 nm, 1550 nm))

Shearing-Interferometrie

   

Autofokusmikroskopie zur Formvermessung

   

Interferenzmikroskopie zur Schichtdickenmessung

   

Präzisionsgoniometer

   

Taktile und interferometrische Systeme zur Vermessung von Freiformen

   

Autofokusmikroskop zur Formvermessung

   

Interferenzmikroskop zur Schichtdickenmessung