Atomlagenabscheidung für optische Beschichtungen (ALD)

Atomlagenabscheidung (ALD) ist eine leistungsstarke Beschichtungstechnologie basierend auf selbstlimitierenden Oberflächenreaktionen chemischer Präkursoren

Schema der ALD-Beschichtung auf Kugeln oder Linsen

Schema der ALD-Beschichtung auf Fasern

Schema der ALD-Beschichtung auf Fasern

Die Vorteile von ALD:

  • Konformes Dünnfilmwachstum auf nano-/mikrostrukturierten Substraten, wie Gitter, poröse Membranen oder auf Substraten mit komplexen Formen, wie Linsen, Fasern, Halbkugeln etc.
  • Maßgeschneiderte Materialeigenschaften durch Verbundmaterialien und Nanolaminate
  • Präzise Kontrolle der Schichtdicken in Sub-Nanometer-Bereichen
  • Geringe Oberflächenrauheit
  • Hohe Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit  

 

Wir bieten eine breite Materialpalette an und führen auf Wunsch auch maßgeschneiderte Materialentwicklung durch:

  • Organische oder hybrid organisch-anorganische MLD Beschichtungen (Moleküllagenabscheidung)
  • Verbundmaterialien mit maßgeschneiderter Zusammensetzung und Eigenschaften
  • Oxide (TiO2, Ta2O5, HfO2, Al2O3, SiO2)
  • Nanoporöse Oxide (SiO2, Al2O3)
  • Doping von Dünnschichten
  • Nanolaminate
  • Metalle (Ir, Ru)
  • Nitride

Konforme TiO₂ -ALD-Beschichtung auf einem Gittersubstrat

Zusätzlich bieten wir verschiedene Charakterisierungs- und Materialbehandlungsmöglichkeiten wie:
 

  • Spektrophotometrie, Ellipsometrie, XRR, XRD, AFM, REM, etc.
  • Thermische Stabilität und Tempern
  • Chemische Stabilität und nasschemisches Ätzen
  • Handhabung von feuchtigkeitsempfindlichen Subtraten unter inerter Atmosphäre

Iridium-Drahtgitterpolarisator durch ALD

Ta₂O₅ / Al₂O₃ Nanolaminat

Wir unterstützen Ihre Anwendung durch den Einsatz funktioneller  ALD - Beschichtungen:
 

  • Interferenzschichtsysteme wie Bandpassfilter, Strahlteiler, Polarisatoren, Spiegel usw.
  • Antireflexbeschichtungen
  • Röntgenoptiken
  • Photonische Kristalle
  • Polarisatoren
  • Diffraktive optische Elemente
  • Hochleistungstransmissions- oder Reflexionsgitter
  • Resonanzwellenleiter
  • Füllen von nanostrukturierten Materialien
  • Biokompatible oder antibakterielle Oberflächen
  • Hydrophobe oder hydrophile Beschichtungen
  • Barriere- und Schutzbeschichtungen
  • Diffusionsmembranen
  • Verkapselung, Faserbeschichtung, Metamaterialien, Sensoren usw.

 

Ihr Substrat & unsere Beschichtung
machen den Unterschied!