UV-härtende Polymere für Wafer-Level Mikrooptik

Dünne UV-abgeformte Polymerschichten mit abgeformten mikro-/nano-optischen Strukturen auf Glas- oder Halbleitersubstraten vereinen hohe Präzision und Stabilität mit kostengünstiger Verarbeitung und maßgeschneiderten Eigenschaften.

Am Fraunhofer IOF gibt es langjährige Erfahrungen und umfangreiche Ausstattung zu:

  • Prozessierung UV-härtbarer Acrylate und Epoxide in Mask Alignern mit UV-Abform-Option
  • Einsatz von anorganisch-organischen Hybrid-Polymeren (z. B. ORMOCER® Elementen aus dem Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC in Würzburg)
  • Auswahl und Modifikation von Polymerharzen zur Erzielung bestimmter optischer und Stabilitäts-Eigenschaften der hergestellten Elemente, z. B.:
  • Brechungsindex und Dispersion, Achromatisierung
  • Indexprofile, optische Homogenität
  • thermo-optischer Koeffizient
  • hohe spektrale Transparenz (z. B. für Laser/ LED Anwendung)
  • Haftfestigkeit, Temperaturstabilität, Feuchtestabilität, Vergilbungsfestigkeit
  • Kompatibilität mit plasmagestützter Beschichtung, Sägen, Bonden, Löten usw.
  • Viskosität etc., Verarbeitbarkeit
  • Messung/ Untersuchung der obigen Eigenschaften und typischer Bauelement-Parameter vor und nach Stabilitätstests

 

Anwendungsbeispiele

  • Arrays achromatischer Doubletts in einem mikrooptischen Nahaufnahmesystem
  • Diffraktive ORMOCER® Elemente für den Einsatz in Hochleistungs-Laserdioden-Barren