Optomechanische Präzisionssysteme

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Auf dem Weg zur Nanotechnik sind neue präzise Komponenten und Systemlösungen gefordert. Die Kombination von Optik und Mechanik erzeugt Synergie und generiert die Innovation.

Das Leistungsangebot des Fraunhofer IOF umfasst Forschung und Entwicklung von opto-mechanischen Verfahren, Modulen, Geräten und Systemen. Schwerpunkte bilden das optische und mechanische Design, Komponenten und Subsysteme für Laser- und Beleuchtungstechniken sowie feinmechanische Präzisionsbaugruppen wie z. B. Scannerbaugruppen, Spiegelsysteme, Metrologiesysteme und Substrathalter. Neben Komponenten und Systemen für Anwendungen an Normalatmosphäre werden zunehmend Systemlösungen für das Hochvakuum entwickelt. Ausgehend von der Problemanalyse werden Simulationsverfahren (FEM - Berechnung mit ANSYS) oder Strukturanalysen angewandt, um die Präzisionssysteme auf höchstem Niveau professionell zu entwerfen und aufzubauen. Umfangreiche Tests der Labormuster und Prototypen erfolgen in speziellen Prüfständen.