Unser Spezialgebiet liegt in der Fertigung kleinster Strukturen auf großen Substraten. Dank modernster Elektronenstrahltechnologie mit Musterprojektion fertigen wir verschiedenste Strukturen im Subwellenlängenbereich auf Substraten mit bis zu 300 mm Durchmesser. Ob dabei viele kleinere Bereiche zur späteren Vereinzelung oder eine geschlossene, großflächige Struktur entsteht – wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die perfekt auf Ihre Anforderungen abgestimmt sind. Profitieren Sie von unserer umfassenden Prozesskette und unserer Expertise in der Präzisionsfertigung.
Metastrukturen
Ihr Partner für höchste Präzision auf Substraten bis zu 300 mm Durchmesser
Sprechen Sie uns an und wir finden eine Lösung, die für Sie und unsere Fertigung möglich ist. Wir freuen uns auf neue Herausforderungen und vergrößern stetig unser Portfolio.
Unsere Leistungsschwerpunkte und Kompetenzen
Strahlteiler
Strahlteiler erzeugen Punktmuster, die in verschiedenen Anwendungen wie zum Beispiel Kalibrierung oder Gesichtserkennung benötigt werden. Dabei kommen unterschiedliche Strukturen zum Einsatz – von rechteckigen Punktanordnungen bis hin zu zufälligen Verteilungen. Wir bieten Lösungen, die genau auf Ihre Anforderungen zugeschnitten sind und können je nach Bedarf kontinuierliche oder binäre Strukturen realisieren. Lassen Sie sich individuell beraten und sie erhalten vom Replikationsmaster, Demonstrator oder Kleinserie genau, was Sie für Ihr Projekt benötigen.
REM Aufnahme von einer binären Strahlteilerstruktur
Entspiegelung strukturiert
REM Aufnahme einer AR-Struktur in Diamant
Für breitbandige Entspiegelungen im Wellenlängenbereich 6,5 bis 100 µm ist die Nutzung von klassischen Schichtsystemen nicht mehr möglich. Doch mit strukturierten Oberflächen in synthetischem Diamanten, die von Mottenaugenstrukturen inspiriert sind, kann eine effiziente Entspieglung dennoch gelingen.
Weitere Informationen: Jahresbericht 2024, Seite 20-21 (Forum)
Meta Master
Das Fraunhofer IOF bietet die weltweit größte Metaoptik mit 300 mm Durchmesser. Diese basiert auf Nanostrukturen, die präzise Lichtlenkung ermöglichen. Damit werden herkömmliche optische Komponenten durch hochentwickelte, nanostrukturierte Materialien ersetzt, die wie ein effektives Medium wirken. Dies eröffnet vielfältige Möglichkeiten in der Lichtmanipulation, ideal für hochspezialisierte und innovative Anwendungen in Forschung und Industrie.
Am Fraunhofer IOF wurde die erste Metaoberfläche mit einem Durchmesser von 30 cm
realisiert (zum Vergleich eine Ein-Euro-Münze).
Elektronenstrahlmikroskopische Aufnahme des
Metagitters. Das Gitter besteht aus einer lateralen Abfolge
maßgeschneiderter Nanostrukturen.
Meta Linsen
Das Fraunhofer IOF nutzt die Elektronenstrahllithographie, um hochpräzise Nanostrukturen für Metallinsen zu fertigen. Diese Technologie ermöglicht die Herstellung komplexer Phasenprofile mit höchster Auflösung – ideal für Metaoptiken im sichtbaren und nahinfraroten Spektralbereich. Diese leistungsfähigen Metallinsen finden Anwendung in Bildgebung, Sensorik und Quantentechnologien.
REM Aufnahme einer Meta Linse aus Säulen
REM Aufnahme einer Meta Linse aus Löchern
REM Aufnahme von polarisationssensitiven Strukturen
Ihre Vorteile an der Zusammenarbeit mit uns
Wir bieten Ihnen umfassende Unterstützung von der Designphase bis zur Fertigung. Mit einer Vielzahl an Fertigungstechnologien beraten wir Sie individuell, um die optimale Lösung für Ihr Produkt zu finden.
Unsere Forschungsstärke
- »Größte Metaoptik der Welt«
(Jahresbericht 2023, Seite 24-25)
Datenblätter
