Unsere Kompetenz umfasst die komplette Prozesskette der Fotolithografie und Elektronenstrahllithografie – von der Strukturierung über anschließende Ätzschritte bis hin zur präzisen Messtechnik. Ergänzend bieten wir eine ausgereifte Replikations¬technologie, mit der sich erzeugte Strukturen effizient vervielfältigen lassen.
Technologiekette der Mikro- und Nanostrukturierung
Von der Idee zur Struktur: Komplettlösungen für Mikro- und Nanotechnologie
