EUV-Lithographie ermöglicht große Sprünge für die Digitalisierung
Das Gewinner-Team hat einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie geleistet. Das Resultat ist eine durch über 2.000 Patente abgesicherte Zukunftstechnologie, die Basis für die Digitalisierung unseres Alltags ist. Sie ermöglicht Anwendungen wie Autonomes Fahren, 5G, Künstliche Intelligenz und weitere zukünftige Innovationen.
Weltweit einziger Hersteller für EUV-Lithographie-Maschinen ist die niederländische Firma ASML. Sie hat als Integrator die Architektur des Gesamtsystems und insbesondere die EUV-Quelle entworfen. Schlüsselkomponenten dieser Maschinen sind der Hochleistungslaser von TRUMPF für die EUV-Lichtquelle und das optische System von ZEISS.
EUV steht für »extrem ultraviolett«, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Mit dieser Schlüsseltechnologie lassen sich in den nächsten Jahrzehnten weitaus leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen als jemals zuvor.
Ohne eine erfolgreiche Steigerung der Rechenleistung kann es keine weiteren Schritte in der Digitalisierung geben: Schon heute hat ein Smartphone die millionenfache Rechenpower des Computers, der 1969 die erste Mondlandung begleitete. Ermöglicht wird dies durch einen Mikrochip von kaum der Größe einer Fingerkuppe. Auf ihm befinden sich fünfzehn Milliarden Transistoren.