Mit Streulicht zur perfekten Optik

Viele innovative Technologien für die Lösung wichtiger Gesellschaftsthemen nutzen als Grundbaustein ein optisches System. Allerdings können selbst kleinste Unvollkommenheiten zu Streulicht und damit zu einem Kontrastverlust und einer geringeren Lichtausbeute führen. Ein optimiertes Design sowie eine lückenlose Überprüfung der Oberflächen von Optiken ist daher entscheidend für moderne Optiksysteme. Am Fraunhofer IOF werden dafür Streulichtmessverfahren entwickelt, die ungewollte Streulichtanteile detektieren können.

 

Streulichtmessung an einer Diamantdrehmaschine.
© Fraunhofer IOF
Fertigungsbegleitende Rauheitscharakterisierung in einer Diamantdrehmaschine mit einem Streulichtsensor - entwickelt vom Fraunhofer IOF.
Wissenschaftler misst im Labor die Oberfläche eines Spiegelsubstrats mittels Streulichtmessverfahren.
© Fraunhofer IOF
Streulichtbasierte, vollflächige Oberflächencharakterisierung eines Spiegelsubstrates für die EUV-Lithographie.

Um eine hohe Abbildungsqualität garantieren zu können, setzt das Verfahren bereits bei dem Design der Optiken an. So ist es erforderlich, detaillierte Spezifikationen über mögliche Unvollkommenheiten zu sammeln – etwa welcher Grad nicht perfekter Stellen akzeptabel ist und wie diese Werte etwa durch eine notwendige Beschichtung beeinflusst werden. Diese Daten liefert das Fraunhofer IOF, das vielfältige Streulichtmesssysteme und -sensoren sowie dazugehörige Analysemethoden und Streulichtmodelle entwickelt. Mit diesen Informationen ist es folglich möglich, mit einer virtuellen Beschichtung das Streulicht bereits vor der aktuellen Fertigung vorherzusagen. Zudem können Oberflächen automatisiert überprüft und vollflächig beurteilt werden.

 

 

Vorteile des Streulichtmessverfahrens

Traditionelle Verfahren zur Messung von Oberflächenimperfektionen sind aufwendig und zeitintensiv. Mit einer hohen Sensitivität, schnellen und berührungslosen Messwertaufnahmen stellt die Streulichtmesstechnik hierzu eine bewährte Alternative dar. Darüber hinaus ist das Verfahren vibrationsunempfindlich und lässt sich, im Gegensatz zu den klassischen Methoden, gut in den Produktionsprozess integrieren. Damit lassen sich Kosten und Fertigungszeiten optimieren. Diese Methode ist daher passend für die sich stetig erhöhenden Anforderungen an optische Komponenten für Industrie und Forschung. Anwendung findet das Know-How des Fraunhofer IOF beispielsweise bei der Herstellung und Optimierung von Satellitenoptiken.