Das Fraunhofer IOF entwickelt innovative optische Messverfahren und -systeme nach kundenspezifischen Anforderungen. Hierzu gehören bildgebende optische 3D-Messsysteme mit hoher messtechnischer Genauigkeit für unterschiedlichste Anwendungen. Messvolumen von wenigern Kubikzentimetern bis einigen Kubikmetern können mit Messfrequenzen von bis zu 55.000 3D-Datensätzen pro Sekunde erfasst werden.
Des Weiteren werden miniaturisierte mikrooptische Abbildungssysteme basierend auf Einzelapertur- und Multiapertursystemen entwickelt und realisiert. Die Fertigung kann hier im Wafermaßstab erfolgen und direkt industriell umgesetzt werden.
Am Fraunhofer IOF sind zudem verschiedenste optische und nichtoptische Messsysteme vorhanden. Exemplarisch seien hier Interferometer unter Nutzung von CGHs (Computergenerierte Hologramme) oder ein Computertomograph mit einer Auflösung bis in den Mikrometerbereich genannt.