Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Jahresberichte von 2000 bis 2010

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Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Design von Komponenten für Hochleistungslaser hoher Strahlqualität

Kontakt: Dr. Thomas Peschel

High Speed-High Resolution-Sensor für die Leiterplatteninspektion

Kontakt: Dr. Christian Bräuer-Burchardt, Dr. Peter Kühmstedt

Organische UV-Schutzschichten für die Polycarbonatverglasung

Kontakt: Christian Präfke

Hochrepetierende Few-Cycle-Pulserzeugung für Hochintensitätsphysik

Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert

3D-Photonik für astronomische Interferometrie

Kontakt: Dr. Stefano Minardi, Prof. Dr. Thomas Pertsch

Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik

Kontakt: Dr. Mark Schürmann

THz-Tomographie für die räumliche Identifikation chemischer Substanzen

Kontakt: Dr. Gunther Notni, M. Eng. Anika Brahm

Fluorreaktive Präparation von Fluorid- und Oxidfluoridschichten für das UV

Kontakt: Dipl.-Phys. Dieter Gäbler

Lebensdauer von EUV-Optiken

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Ultra-dünne Kamera mit VGA-Auflösung

Kontakt: Dr. Frank Wippermann

Freiformprisma für head-mounted Display

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Richtungsselektive Streuschirme

Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley

Chip in the tip - ultrakompakte Endoskopkamera mit VGA-Auflösung

Kontakt: Dr. Erik Beckert

Flachbauendes Mikroskop

Kontakt: Dr. Frank Wippermann

Multilagige mikrooptische Module

Kontakt: Dr. Peter Dannberg

Lokales Schweißen mit ultrakurzen Laserpulsen

Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte

Unterdrückung stimulierter Ramanstreuung in DC-Faserverstärkern

Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert

Direktes Bonden: Eine »neue« Bond-Technologie für Glas

Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Freiformbearbeitung von Mikrooptiken auf gekrümmten Oberflächen

Kontakt: Dipl.-Ing. Sebastian Scheiding, Dr. Ramona Eberhardt

TABLE-TOP-Messsystem für Streulicht, R und T - ALBATROSS-TT

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Entspiegelung von Saphirglas

Kontakt: Christoph Gödeker

Neue Gitter für Laseranwendungen

Kontakt: Dr. Frank Fuchs, Dr. habil. Uwe Detlef Zeitner

Laserstrukturierung poly- und einkristalliner Diamantwerkzeuge

Kontakt: Dipl.-Phys. Andreas Joswig, Dr. Ramona Eberhardt

Praxisnahe Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessverfahren

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Plasma und optische Technologien (Pluto)

Kontakt: Dr. Olaf Stenzel

Plasmonisch resonante Nanoringe

Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2010

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2010

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Ultrapräzise Metallspiegel für ein neuartiges rotierendes Teleskop

Kontakt: Dr.-Ing. Stefan Risse

LEDs in der Mess- und Prüftechnik

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Rauheitsstrukturen für ressourcensparende Benetzungseigenschaften

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Nanostrukturierte SIS-Solarzellen

Kontakt: Kevin Füchsel

Ultrakurzpuls-Laser mit 830 W Durchschnittsleistung

Kontakt Prof. Jens Limpert

Ultrakompaktes Abbildungssystem erhöhter Lichtstärke

Kontakt: Dipl.-Phys. Andreas Brückner

Ultraflache Array-Projektionsoptik

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Polymerfolien mit Antireflexeigenschaften durch Plasmaätzen – POLAR

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie

Kontakt: Dr. Torsten Feigl

Parallele SPR als Nachweistechnologie für die Biosensorik

Kontakt: Dr. Norbert Danz

Optischer 3D-Handscanner für patientenindividuelle Atemmasken

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Löten vakuumdichter Fenster für medizintechnische Produkte

Kontakt: Thomas Burkhardt

Breitbandige dielektrische Spiegel für medizinische Anwendungen

Dipl.-Ing. (FH) Wieland Stöckl

Spektrometergitter für die Gaia-Weltraummission

Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner

Mehrfach-Ablenkarrays für die "Multi Shaped Beam Litography"

Kontakt: Dipl.-Ing. Matthias Mohaupt

Ultrapräzise asphärische Spiegel mit definierten Referenzstrukturen

Kontakt: Sebastian Scheiding

Hochleistungskomponenten für Faserlaser

Kontakt: Dr. Thomas Schreiber

Virtuelle Beschichtungsläufe zur Design- und Prozessoptimierung

Kontakt: Dr. Steffen Wilbrandt

Jitter-Reduktion in passiv gütegeschalteten Mikrochip-Lasern

Kontakt: Prof. Jens Limpert

Integrierte Bragg-Reflektoren für Hochleistungs-Faserlaser

Kontakt: Prof. Stefan Nolte

Polarisations-unsensitive optische Metamaterialien

Prof. Thomas Pertsch

Computergenerierte Hologramme basierend auf Nanostrukturen

Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2009

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2009

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

2 kW inkohärente Strahlkombination von vier schmalbandigen photonischen Kristallfaserverstärkern

Kontakt: Christian Wirth

Steigerung der Pulsspitzenleistung hochrepetierender Ultrakurzpulslaser durch nichtlineare Wechselwirkung

Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert

Verbesserung des Strahlprofils von Lasern durch resonatorinterne Strahlformung

Kontakt: Hans-Christoph Eckstein

Maßgeschneiderte Lichtemission aus OLEDs

Kontakt: Dr. Dirk Michaelis

Polarisierende Metallstreifengitter

Kontakt: Thomas Weber

Metallspiegel exzellenter Form und Rauheit

Kontakt: Ralf Steinkopf

IR-Strahlteiler für das Instrument LUCIFER

Kontakt: Gerd Harnisch

Die analytische Beschreibung optischer Metamaterialien mittels der Multipolmethode

Kontakt: Jörg Petschulat

Antireflexstrukturen AR-plas®

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Niedertemperaturabscheidung von Indiumzinnoxid

Kontakt: Kevin Füchsel

Optimierung der optischen und mechanischen Eigenschaften oxidischer Schichten durch Ausnutzung von Nanoporosität

Kontakt: Dr. Olaf Stenzel

Mikroskopie im »Wasserfenster«

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Makyoh-Imaging zur Charakterisierung von Oberflächendefekten

Kontakt: Alexander von Finck

THz-Bildgebung – von der Komponente zum System

Kontakt: Boris Pradarutti

Optikproduktion – Qualitätsüberwachung mit dem optischen 3D-Multi-Sensorsystem »kolibri MULTI lens«

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

LED-Straßenleuchten

Kontakt: Sergey Kudaev

Kompakter IR-Sensor zur Richtungsbestimmung von Lichtsignalen

Kontakt: Dr. Martin Palme

Kompakter Rauheitssensor

Kontakt: Dr. Sven Schröder

Ultra-kompakter abbildender Sensor für Anwendungen im Automobil

Kontakt: Andreas Brückner

Masken-Chucks für die EUV-Lithographie

Konatakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Vorrichtung zur Justierung von Keramik-Grünfolien

Konatkt: Matthias Mohaupt

Greifer für die rotatorische Ausrichtung polarisationserhaltender Glasfasern

Kontakt Andreas Kamm

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2008

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2008.

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Mikrooptik für LED-Lichtquellen

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Diamantbearbeitung von ultrapräzisen Freiformen

Kontakt: Ralf Steinkopf

Organische LED – Lichtauskopplung und Lichtmanagment

Kontakt: Dr. Norbert Danz

Chirped Microlens Arrays für die Homogenisierung kohärenter Strahlung

Kontakt: Dr. Frank Wippermann

Computer Generierte Hologramme

Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner

fs-Laser geschriebene Faser-Bragg-Gitter für integrierte Faserlaser

Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte

Optische Mikroresonatoren

Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch

3D-Strukturierung von Lithiumniobat

Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley

Hochreflektierende EUV/Röntgen-Multilayerspiegel

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Hochtemperatur LPP Kollektorspiegel für die EUV-Lithographie

Kontakt: Dr. Torsten Feigl

Hochreflektierende Beschichtungen auf Kunststoffoptiken

Kontakt: Dr. Peter Munzert

Gesputterte Spiegelschichten für die Optik und Beleuchtungstechnik

Kontakt: Wieland Stöckl

Online-Fehlerkorrekturen bei der plasmagestützten Abscheidung von Interferenzschichtsystemen

Kontakt: Dr. Olaf Stenzel

Benetzungsanalyse an mikro- und nanostrukturierten Oberflächen

Kontakt: Marcel Flemming

Solder Bumping – ein neues, flexibles AVT-Verfahren für optoelektronische Systeme

Kontakt: Dr. Erik Beckert

Justierdrehen – eine Schlüsseltechnologie für die Montage von Präzisionsobjektiven

Kontakt: Andreas Gebhardt

Kompakte Pickup-Optik für mobile Blue-Ray-Datenspeicher – Montagekonzept

Kontakt: Matthias Mohaupt

Chucks für EUV-Lithographie und AFM-Messtechnik

Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Echtzeit-Bildverarbeitung für den ultra-dünnen Bildsensor

Kontakt: Andreas Brückner

ns-Faserlaser für die Mikromaterialbearbeitung

Kontakt: Christian Wirth

1 mJ Ultrakurzpuls-Faserverstärker hoher Leistung

Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert

Ein akkommodierendes opto- mechanisches Augenmodell zur Beschreibung von Laserimpulseinträgen in das Auge

Kontakt: Dr. Stefan Riehmann

Next-Generation Streulichtmesssysteme eröffnen neue Anwendungsfelder

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Intraoraler 3D-Digitalisierer für CAD/CAM in der Zahnmedizin

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Messsystem zur THz-Bildgebung mit Zeilendetektor

Kontakt: Dr. Stefan Riehmann

Prüflabor für Fingerprint-Sensoren

Kontakt: Dr. Stefan Riehmann

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2007

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2007.

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Produktion von mikrooptischen Bauteilen und Systemen

Kontakt: Dr. Ramona Eberhardt

Scharfer Blick ins Weltall – Ultrapräzise Metallspiegel für astronomische und Weltraumanwendungen

Kontakt: Dr. Stefan Risse

Infrarot-Kamera für das Skinakas-Observatorium

Kontakt: Dr. Thomas Peschel

Phasenschieber für die DARWIN-Mission

Kontakt: Gerd Harnisch

Ionenfallen für die Quantencomputer der Zukunft

Kontakt: Claudia Bruchmann

Lithographie der nächsten Generation für die Mikrooptik

Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner

Blankpressen von Glas als Technologie für Mikro- und Nanooptik

Kontakt: Dr. Peter Dannberg

Ultrapräzisionsbearbeitung – Technologie für innovative Optikelemente

Kontakt: Ralf Steinkopf

Strategien für die prozessintegrierte Nanorauheits-Kontrolle durch Streulichtmethoden

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Farbsehen mit künstlichen Facettenaugen

Kontakt: Andreas Brückner

Miniaturisierte Laserprojektoren

Kontakt: Dr. Andreas Bräuer

Opto- und thermo-mechanisches Design von Hochleistungsfaserlasern

Kontakt: Dr. Thomas Peschel

Anwendungen optimierter THz-Imaging-Systeme

Kontakt: Boris Pradarutti

Lasergelötete Faserkopplung für UV-Anwendungen

Kontakt: Henrik Banse

Metamaterialien mit negativem Brechungsindex für die Überwindung der Abbeschen Auflösungsgrenze

Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch

Lichtpropagation in fs-Lasergeschriebenen Wellenleitern

Kontakt: Alexander Szameit

Neue Entwicklungen auf dem Gebiet optischer Schichten

Kontakt: Prof. Dr. Norbert Kaiser

Moderne Dünnschichtoptik jenseits des homogenen und isotropen Schichtmodells

Kontakt: Dr. Olaf Stenzel

Haftfeste Beschichtung von PMMA – von der Prozessentwicklung zur industriellen Nutzung

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Schutzschichten für EUV-Lithographie-Optiken

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Stereobasierte Streifenprojektion – industrietaugliche 3D-Digitalisiersysteme

Kontakt: Christoph Munkelt

Visuelles Stimulationssystem für den Einsatz in der Magnetoenzephalographie

Kontakt: Uwe Lippmann

Hochsensitive Bestimmung der Verluste von synthetischem Quarzglas für die 193 nm Immersionslithografie

Kontakt: Dr. Sven Schröder

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2006

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2006

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

EUV-Multilayer-Optiken

Kontakt: Dr. Torsten Feigl

Ultraplanare Elektrostatische Chucks für Next-Generation-Lithographie

Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Erzeugung komplexer Mikrooptiken durch Lithographie und UV-Abformung

Kontakt: Dr. Peter Dannberg

Herstellung gechirpter Mikrolinsenarrays durch Reflow von Fotoresist

Kontakt: Dr. Frank Wippermann

Verbesserung der Auflösungshomogenität ultra-dünner Bilderfassungssysteme basierend auf künstlichen Facettenaugen

Kontakt: Jaques Duparré

RGB-Hologramme zur Farbbilderzeugung

Kontakt: Dr. Ernst-Bernhard Kley

Photonische Kristalle für optische Abbildungselemente

Kontakt: Markus Augustin

Faserlaser – Neue Möglichkeiten durch Mikrostrukturierung

Kontakt: Prof. Dr. Jens Limpert

Systemtechnische Grundlagen für THz-Imaging-Systeme

Kontakt: Boris Pradarutti

Anwendung von OLED-Mikrodisplays in visuellen Stimulationssystemen und in der Messtechnik

Kontakt: Uwe Lippmann

Neue Ansätze für die Behandlung von Presbyopie mit Hilfe ultrakurzer Laserpulse

Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte

Optiken für ultrakurze Laserpulse – Analyse, Design und Herstellung

Kontakt: Ulrike Fuchs

Schichtsysteme für Ultrakurzzeitoptiken

Kontakt: Dr. Martin Bischoff

Omnidirektionale Entspiegelungen auf Basis von Gradientenschichten

Kontakt: Dr. Robert Leitel

Transparenter Kratzschutz für Kunststoffoptik

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Streulicht-Messverfahren für Gitter und diamantgedrehte Oberflächen

Kontakt: Stefan Gliech

3-D-Zahndigitalisierer »hiScanμ« – Die dritte Gerätegeneration

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

FEM-Simulation des Laserstrahllötprozesses zum Fügen optischer Bauteile

Kontakt: Henrik Banse

Optoelektronik für die Analysetechnik

Kontakt: Dr. Erik Beckert

Entwicklung von automatischen Vorrichtungen zur innovativen Handhabung von Haaren

Kontakt: Matthias Mohaupt

PCR auf dem Chip – Schnellere Analysen in den Life Sciences mit einem innovativen Ansatz

Kontakt: Claudia Gärtner

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2005

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2005

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Ultradünnes Bilderfassungssystem basierend auf künstlichen Facettenaugen

Kontakt: Jaques Duparré

Konzentratoren für Hochleistungs-LEDs

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Kunststoffwafer-Technologie zur parallelen Erzeugung miniaturisierter optischer Systeme

Kontakt: Dr. Peter Dannberg

Laser-Lithographie für Mikrooptik auf gekrümmten Oberflächen

Kontakt: Dr. Uwe-Detlef Zeitner

Mikromaterialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen

Kontakt: Prof. Dr. Stefan Nolte

Faserlaser – Innovative Strahlquellen für Forschung und Industrie

Kontakt: Holger Zellmer

Leichtgewichtspiegel für einen schnellen Lidar-Scanner

Kontakt: Christoph Damm

Kleine Stäbchen große Wirkung – Miniaturisiertes Ablenksystem für Lithographieanlagen

Kontakt: Dr. Stefan Risse

Mikromontage eines Gitterspaltes für ein astronomisches Spektrometer

Kontakt: Dr. Erik Beckert

Lotuseffekt, Kohlrabiblatt, Mottenauge? Nanostruktur-Design für ultrahydrophobe Oberflächen

Kontakt: Dr. Angela Duparré

»NANO-motheye« Antireflexstrukturen für Acryl-Polymere

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Präzise kontrollierte Schichten und Oberflächenstrukturen

Kontakt: Dr. Steffen Wilbrandt

Streuverluste fluoridischer Substrate und Schichten bei 193 nm

Kontakt: Dr. Sven Schröder

Entwicklung thermisch stabiler MoSi2/Si- und Mo/C/Si/C-Schichtsysteme

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Optische Simulation einer Strahlungsheizung

Kontakt: Dr. Martin Palme

»Kolibri 1500« – Ein Gerätesystem zur 3-D-Vermessung komplexer Gussteile

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Vom Mikrofluidik-Baukasten zur flexiblen Diagnostik-Plattform

Kontakt: Dr. Claudia Gärtner

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2004

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2004.

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Diamantdrehen mikrooptischer Strukturen

Kontakt: Andreas Gebhardt

Geprägte Glaskeramik für optische und optoelektronische Anwendungen

Kontakt: Wolfgang Buß

Entwicklung einer Spezialsputteranlage für EUV-Optiken

Kontakt: Dr.Thorsten Feigl

Beschichtungen für Mikrospiegelarrays

Kontakt: Alexandre Gatto

Rugatefilter für den nahen infraroten und visuellen Spektralbereich

Kontakt: Dr. Olaf Stenzel

AR-hard® – Beschichtung mit einstellbarer spektraler Bandbreite für Kunststoffoptik

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Maßschneidern geführter Wellen in Wellenleiterarrays

Kontakt: Dr. Dirk Michaelis

Hybride Integration optischer Systeme auf miniaturisierten keramischen Substraten

Kontakt: Dr. Erik Beckert

Elektrostatischer Chuck mit integriertem Wafer-Lift

Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Der Mikrofluidik-Baukasten – Konzepte für die Standardisierung und fluidische Schnittstellen

Kontakt: Dr. Claudia Gärtner

Metrologie für die Nanotechnik

Kontakt: Marcel Flemming

Flexible Phasogrammetrie – eine neue Methodik zur 3-D-Rundumvermessung

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Hochauflösende Streulichtanalyse an optischen Komponenten im VUV bis IR

Kontakt: Stefan Gliech

Miniaturisiertes markierungsfreies Detektionssystem

Kontakt: Dr. Bürk Schäfer

Optisches Mikrofon

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Mechanik und Optik vereint – Langzeitarchivierung von farbigen Bildern auf Mikrofilm

Kontakt: Dr. Stefan Risse

Kuppelprojektor

Kontakt: Dr. Stefan Riehemann

Hochleistungs-Faser- und Wellenleiterlaser

Kontakt: Prof. Dr. Andreas Tünnermann

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2003

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2003.

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Modulierte RGB-Laserquelle für das digitale Photofinishing

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Mikrooptisches Beleuchtungsmodul für digitale Projektionsanwendungen

Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner

Musterbildung in UV-gehärteten Polymeren

Kontakt: Ulrich Streppel

Handhabung mikrooptischer Komponenten in der Mikromontage

Kontakt: Dr. Erik Beckert

Laserstrahllöten mikrooptischer Komponenten

Kontakt: Henrik Banse

Optimierung planarer Fluoreszenz-Biosensoren

Kontakt: Dr. Norbert Danz

Bewertung nanostrukturierter funktionaler Oberflächen: visuelle Inspektion vs. laserbasierte Messung

Kontakt: Marcel Flemming

Messsystem zur Bestimmung der winkelabhängigen und totalen Lichtstreuung, Transmission und Reflexion bei 157 nm und 193 nm

Kontakt: Stefan Gliech

Finite-Element-Analyse opto-mechanischer Baugruppen

Kontakt: Dr. Thomas Peschel

Theoretische und experimentelle Untersuchungen an selbst-schmierenden Luftlagern

Kontakt: Dr. Stefan Risse

Messmittelfähigkeit eines optischen 3D-Messsystems

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Digitale Spaltlampe unter Anwendung von Mikrodisplays

Kontakt: Dr. Stefan Riehemann

Polymerchipbasierte mikrofluidische Komponenten für Anwendungen in den Life Sciences

Kontakt: Dr. Claudia Gärtner

Durchbruch bei Entwicklungen im Bereich der EUV-Lithographie

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Plasma-ionengestützte Beschichtungen von Kunststoff

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Oberflächenplasmonen in dünnen Schichten

Kontakt: Dr. Olaf Stenzel

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2002

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2002.

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Microoptical sensor for online characterization of textile fibers

Kontakt: Dr. Uwe Detlef Zeitner

Micro optical elements fabricated by RIE proportional transfer

Kontakt: Andre Lothar Matthes

Mechanical design of a miniaturized UV-VIS spectrometer for space applications

Kontakt: Dr. Thomas Peschel

Anomalous light propagation and diffraction control in waveguide arrays

Kontakt: Prof. Dr. Thomas Pertsch

Adjustment robot for fibre optics assemblies

Kontakt: V. Guyenot

Precise adjustment of mechanical and optical components by linear stroke actuators

Kontakt: C. Siebenhaar

Precision chucks for future lithography

Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Optical 3-D scanning of extraoral defects using »kolibri-mobile«

Kontakt: Dr. Gunther Notni

High speed 3-D digitizer for CAD-CAM in industrial and dental applications

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Application of microdisplays in optical metrology

Kontakt: Dr. Stefan Riehemann

Radiation resistant VUV coatings for Excimer- and Free Electron Lasers

Kontakt: J. Heber

Light scattering measurements on optical components at 157 nm and 193 nm

Kontakt: J. Steinert

New multilayer coatings for EUV optics

Kontakt: T. Kuhlmann

Design and characterization of optical coatings with enhanced roughness for ultra-hydrophobic, low scatter applications

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Novel design for antireflection coatings

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2001

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2001.

Wissenschaftliche Beiträge im Jahresbericht

Optical coatings for soft x-ray applications

Kontakt: Dr. Sergiy Yulin

Hard UV coatings for free electron laser

Kontakt: A. Gatto

Abrasion resistant antireflection coatings for plastic optics

Kontakt: Dr. Ulrike Schulz

Coating of new polymers for optical applications

Kontakt: Dr. Peter Munzert

Substrates and optical coatings for 157 nm applications

Kontakt: J. Heber

Light scattering measurement with 157 nm techniques

Kontakt: Dr. Angela Duparré

Electrostatic chucks for vacuum lithography

Kontakt: Dr. Gerhard Kalkowski

Wafer stage assembly for Ion Projection Lithography

Kontakt: Christoph Damm

Miniaturized bulk-optical Mach-Zehnder filter for optical code division multiplexing

Kontakt: Dr. Peter Schreiber

Novel multilayer waveguide technology for optical fan-out structures

Kontakt: U. Streppel

Integration of microoptics on wafers with vertical emitting lasers

Kontakt: G. Mann

Selfcalibrating 360-deg shape-measurement systems

Kontakt: Dr. Gunther Notni

Correction of 3-D coordinates using consistence check

Kontakt: Dr. Peter Kühmstedt

Percutaneous transvascular aortic valve replacement with a self-expanding stent-valve device

Kontakt: M. Ferrari

Publikationsliste

Wissenschaftliche Publikationen

Bücher – Zeitschriften – Eingeladene Vorträge – Vorträge, Poster, Konferenzen

2000

Ausgewählte wissenschaftliche Ergebnisse, Publikationen und Highlights in 2000